等離子體表面處理機器是通過利用對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態，利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等的目的。等離子體表面處理機器的用于生物醫用材料的表面清洗、等離子滅菌消毒、聚合、刻蝕、沉積

等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。等離子處理機廣泛應用于等離子清洗、等離子刻蝕、等離子晶圓去膠、等離子涂覆、等離子灰化、等離子活化和等離子表面處理等場合，通過等離子清洗機的表面處理，能夠改善材料表面的潤濕能力，使多種材料能夠進行涂覆、涂鍍等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂.

等離子清洗機表面接枝與聚合

等離子清洗機的表面接枝，等離子體清洗機在對材料表面改性中，由于等離子體中活性粒子對表面分子的作用，使表面分子鏈斷裂產生新的自由基、雙鍵等活性基團，隨之發生表面交聯、接枝等反應

等離子清洗機的表面聚合作用，在使用等離子體活性氣體時，會在材料表面聚合產生一層沉積層，沉積層的存在有利于提高材料表面的粘接能力。

在等離子體清洗機表面活化產生的基團或等離子體引發聚合層不能與材料表面牢固結合時，采用等離子體清洗機接枝的方法來改善。等離子體接枝的原理為：首先利用表面活化在材料表面產生新的活性基團，利用此基團與后續的活性物質產生化學共價鍵結合，后續的活性物質中帶有能夠滿足應用的特定基團，以達到既能滿足表面特性又能牢固結合的目的。

等離子處理機適合各種基片、粉體或顆粒狀材料的表面改性、活化處理，接枝與聚合，包括：清洗、活化、刻蝕、去膠、接枝與涂鍍等工藝。