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日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統
閱讀：378 發布時間：2019-8-21
簡要描述：
日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統
同步檢驗表面形狀、背面形狀和平整度！
NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉、邊緣夾持式晶圓的平整度測量裝置。邊緣排除區小1mm，可進行盒至盒的高精度自動測量。評價項目依據SEMI標準。
日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統
同步檢驗表面形狀、背面形狀和平整度！
NANOMETRO®TT系列是用于縱向旋轉、邊緣夾持式晶圓的平整度測量裝置。邊緣排除區小1mm，可進行盒至盒的高精度自動測量。評價項目依據SEMI標準。
特點
- 平整度測量例
- 邊緣排除區1mm
- 邊緣排除區3mm
- 放射狀測量數據
- 邊緣滾降分析
- 邊緣鳥瞰圖、截面圖
＜Edge Roll-off分析＞
根據表面和背面同步檢測得到的放射狀測量結果，提供符合客戶需求的分析軟件。
性能、規格
| 項目 | NANOMETRO®300TT | NANOMETRO®200TT |
|---|---|---|
| 量程 | φ300mm | φ200mm |
| 顯示分辨率 | 1nm | |
| 測頭 | 非接觸激光位移計 | |
| 測量方式 | 縱向旋轉方式 | |
日本黑田精工KURODA硅片平整度測量系統
產品按照標準和生產，產品可滿足用于石化、電廠等行業，同時根據不同的產品也適用于其他行業，改進和擴大提高了自己的產品供給，公司生產的測量系統，受到了本國和國內外客戶以及市場的青睞，*設計，壽命超長，性能穩定，密封性強，精密鑄造，外觀精美。性質穩質，包裝優良。
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