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壓電載物臺·閉環 Carrier.Lxxxx.XY

? 針對載物臺“大行程·高精度·重負載”需求的定制化解決方案

Carrier.L7550XY

• XY方向行程 75 mm × 50 mm；

• 最小步伐約 5 nm；

• 最高速度 20 mm/s；

• 位置傳感器分辨率：1 nm；

• 全行程運動中，保證通孔 85 mm × 65 mm；

• ?持無磁 (.NM) & 高真空 (.HV) & 超高真空 (.UHV)；

• 主體鋁合金 (硬質氧化發黑)；

Carrier.L1010XY

• XY方向行程 100 mm × 100 mm；

• 最小步伐約 5 nm；

• 最高速度 10 mm/s；

• 位置傳感器分辨率：1 nm；

• 全行程運動中，保證通孔 85 mm × 65 mm；

• ?持無磁 (.NM) & 高真空 (.HV) & 超高真空 (.UHV)；

• 主體鋁合金 (硬質氧化發黑)；

壓電載物臺，大行程高負載，兼容無磁高真空——詳細參數：

壓電載物臺，大行程高負載，兼容無磁高真空——尺寸圖：

Carrier.L7550.XY

Carrier.L1010.XY

多場科技致力于全環境壓電超精密運動控制技術以及產品的開發與推廣。得益于公司在“強磁場、超高真空和極低溫環境”環境領域下長期的探索與積累，多場科技已形成了全環境納米運動控制產品集群，成為國際上為數不多的，可以提供全環境下的納米級運動控制解決方案的團隊。