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工信部對《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業(yè)標準公開征集意見
2023年11月17日 10:46:04
來源：化工儀器網(wǎng) 點擊量：19273
根據(jù)標準化工作的總體安排，現(xiàn)將申請立項的《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業(yè)標準、《雪蓮養(yǎng)護貼》等1項行業(yè)標準外文版項目和《環(huán)境污染防治設備 術(shù)語》等38項推薦性國家標準計劃項目予以公示（見附件1、2、3），截止日期為2023年12月16日。
【化工儀器網(wǎng) 標準發(fā)布】 半導體設備是集成電路制造的核心設備之一，對于半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展具有至關(guān)重要的作用。為了適應行業(yè)發(fā)展需求，提高設備性能和質(zhì)量，工信部制定了《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業(yè)標準，旨在規(guī)范設備的技術(shù)指標、測試方法、操作規(guī)程等方面的內(nèi)容。
這196項行業(yè)標準涉及了半導體設備的多個方面，包括設備的技術(shù)指標、測試方法、操作規(guī)程、維護保養(yǎng)等方面的內(nèi)容。其中，《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》主要規(guī)定了集成電路制造用干法刻蝕設備的測試方法，包括設備的性能測試、可靠性測試、安全性測試等方面的內(nèi)容。
根據(jù)標準化工作的總體安排，現(xiàn)將申請立項的《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業(yè)標準、《雪蓮養(yǎng)護貼》等1項行業(yè)標準外文版項目和《環(huán)境污染防治設備 術(shù)語》等38項推薦性國家標準計劃項目予以公示(見附件1、2、3)，截止日期為2023年12月16日。
具體原文如下：
公開征集對《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業(yè)標準、1項行業(yè)標準外文版和38項推薦性國家標準計劃項目的意見
根據(jù)標準化工作的總體安排，現(xiàn)將申請立項的《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業(yè)標準、《雪蓮養(yǎng)護貼》等1項行業(yè)標準外文版項目和《環(huán)境污染防治設備 術(shù)語》等38項推薦性國家標準計劃項目予以公示(見附件1、2、3)，截止日期為2023年12月16日。如對擬立項標準項目有不同意見，請在公示期間填寫《標準立項反饋意見表》(見附件4)并反饋至我司，電子郵件發(fā)送至KJBZ@miit.gov.cn(郵件主題注明：標準立項公示反饋)。
公示時間：2023年11月16日-2023年12月16日
聯(lián)系電話：010-68205241
地址：北京市西長安街13號 工業(yè)和信息化部科技司
郵編：100804
附件：
1.《半導體設備 集成電路制造用干法刻蝕設備測試方法》等196項行業(yè)標準制修訂計劃(征求意見稿)
2.《雪蓮養(yǎng)護貼》等1項行業(yè)標準外文版計劃(征求意見稿)
3.《環(huán)境污染防治設備 術(shù)語》等38項推薦性國家標準制修訂計劃(征求意見稿)
4.標準立項反饋意見表
工業(yè)和信息化部科技司
2023年11月16日
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