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預算超2.8億！中國科學院微電子研究所近期采購意向來了
2025年02月17日 11:23:10
來源：化工儀器網 點擊量：6673
近期，中國科學院微電子研究所連續發布多項儀器設備采購意向，預算金額達28366萬元。涉及儀器設備包括全自動光學顯微鏡、刻蝕設備、X射線光電子能譜儀、等離子體增強化學氣相沉積設備、干法去膠機等。
近期，中國科學院微電子研究所連續發布多項儀器設備采購意向，預算金額達28366萬元。涉及儀器設備包括全自動光學顯微鏡、刻蝕設備、X射線光電子能譜儀、等離子體增強化學氣相沉積設備、干法去膠機等。預計采購時間2025年3至6月。
采購意向只是政府采購的初步安排，具體采購情況以中國科學院微電子研究所發布的采購公告和采購文件為準，有意向的企業可持續關注該研究所發布的招標信息。
中國科學院微電子研究所采購預算匯總
| 采購項目名稱 | 采購需求概況 | 預算金額（萬元） | 預計采購日期 |
| 硅片 | 制備半導體器件，數量700片 | 150 | 2025年02月 |
| 4G-LTE Cat.1通信SOC芯片晶圓 | 4G-LTE Cat.1通信的SOC芯片及其配套的PMIC芯片，晶圓數量各1張 | 160 | 2025年03月 |
| 高溫集成電路與元器件 | 高溫集成電路與元器件 | 140 | 2025年03月 |
| 全自動光學顯微鏡 | 全自動光學顯微鏡1臺 | 150 | 2025年04月 |
| 新型存儲器刻蝕系統 | 新型存儲器刻蝕系統1臺 | 1500 | 2025年04月 |
| 激光發生裝置 | 激光發生裝置 | 130 | 2025年04月 |
| 12英寸槽式小尺寸高精度橫向濕法刻蝕設備 | 12英寸槽式小尺寸高精度橫向濕法刻蝕設備1臺 | 3800 | 2025年04月 |
| 數模混合綜合老化系統 | 數模混合綜合老化系統1臺 | 114 | 2025年04月 |
| 穩態熱阻測試系統 | 穩態熱阻測試系統1臺 | 115 | 2025年04月 |
| 三維集成封裝動態數字全息顯微分析儀 | 三維集成封裝動態數字全息顯微分析儀1臺 | 252 | 2025年05月 |
| 低溫變頻C-V測試設備 | 低溫變頻C-V測試設備 | 350 | 2025年05月 |
| 透射電子顯微鏡(TEM)、聚焦離子束顯微鏡(FIB)以及二次離子質譜(SIMS)等半導體測試分析 | 透射電子顯微鏡(TEM)、聚焦離子束顯微鏡(FIB)以及二次離子質譜(SIMS)等半導體測試分析 | 1000 | 2025年05月 |
| 離子刻蝕機 | 離子刻蝕機1臺 | 810 | 2025年05月 |
| 光譜檢測儀 | 日本橫河 AQ6380 光譜檢測儀1 臺 | 100 | 2025年06月 |
| 低頻阻抗分析儀 | 低頻阻抗分析儀1 臺 | 100 | 2025年06月 |
| X射線光電子能譜儀 | X射線光電子能譜儀 | 900 | 2025年06月 |
| 激光隱形切割成套設備 | 激光隱形切割成套設備 | 1000 | 2025年06月 |
| 12吋晶圓等離子劃片機 | 12吋晶圓等離子劃片機 | 1880 | 2025年06月 |
| 12吋晶圓級激光去膠開槽設備 | 12吋晶圓級激光去膠開槽設備 | 800 | 2025年06月 |
| 12吋晶圓級無機紅外拆鍵合設備 | 12吋晶圓級無機紅外拆鍵合設備 | 5300 | 2025年06月 |
| 翹曲測量儀 | 翹曲測量儀 | 620 | 2025年06月 |
| 12吋物理氣相沉積設備 | 12吋物理氣相沉積設備 | 2300 | 2025年06月 |
| PVTC-A1比容量儀 | PVTC-A1比容量儀 | 245 | 2025年06月 |
| 流片 | 流片50顆 | 100 | 2025年06月 |
| 低噪聲高頻信號發生器 | 低噪聲高頻信號發生器1臺 | 180 | 2025年06月 |
| high-K介質電感耦合等離子體刻蝕設備 | high-K介質電感耦合等離子體刻蝕設備1臺 | 900 | 2025年06月 |
| 干法去膠機 | 干法去膠機1臺 | 200 | 2025年06月 |
| 高深寬比橫向濕法刻蝕設備 | 高深寬比橫向濕法刻蝕設備1臺 | 1210 | 2025年06月 |
| 金屬及金屬氧化物原子層沉積設備 | 金屬及金屬氧化物原子層沉積設備1臺 | 1800 | 2025年06月 |
| 金屬及金屬氧化物電感耦合等離子體刻蝕設備 | 金屬及金屬氧化物電感耦合等離子體刻蝕設備1臺 | 860 | 2025年06月 |
| 等離子體增強化學氣相沉積設備 | 等離子體增強化學氣相沉積設備1臺 | 1200 | 2025年06月 |
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