磨削頭

• Z軸運(yùn)動(dòng)，可調(diào)節(jié)角度

•可調(diào)節(jié)劃線力從10gr到250gr，恒重

•金剛石工具：可調(diào)節(jié)角度和旋轉(zhuǎn)

•刀具偏置，十字準(zhǔn)線

•精度：±5μm

晶圓

•晶圓片直徑6''

•真空吸附

•框架/環(huán)形適配器

•電動(dòng)夾頭旋轉(zhuǎn)

•夾頭旋轉(zhuǎn)對(duì)準(zhǔn)，90度/可編程

•X Y軸/分辨率1μm; 精度±5μm

•無(wú)振動(dòng)設(shè)計(jì)

•通過(guò)漸進(jìn)式操縱桿控制運(yùn)動(dòng)

視覺(jué)系統(tǒng)

•光學(xué)放大倍率，與其他應(yīng)用兼容

•視野：標(biāo)準(zhǔn)1mm

•TFT顯示器17''和CCD彩色高清攝像機(jī)

•目標(biāo)發(fā)生器

•LED照明

參數(shù)

•步驟指數(shù)

•Y劃線速度從1到100毫米/秒

•劃線長(zhǎng)度可編程

•重復(fù)劃線

•劃線數(shù)量

•多指數(shù)功能

•削減計(jì)數(shù)器

技術(shù)規(guī)格

功率：100 / 230VAC ，500 watt

氣壓：70psi

真空：60％

尺寸：650x700x500mm（26''x28''x20''）

重量：70kgr。