高精度測量新標(biāo)gan：LTC 光譜共焦位移傳感器 —— 支持真空環(huán)境定制化解決方案

引言

核心優(yōu)勢：重新定義精密測量標(biāo)準(zhǔn)

1. 極zhi精度，全場景適配

• 超高重復(fù)精度與線性精度：部分型號重復(fù)精度可達(dá) 3nm，線性誤差低至 ±0.03μm，遠(yuǎn)超傳統(tǒng)激光傳感器，滿足納米級精度要求。

• 多光斑智能切換：提供小光斑（φ1.7μm）、大光斑及四光點(diǎn)式光斑，適配微小目標(biāo)物（如芯片引腳）、粗糙表面及復(fù)雜輪廓測量，有效抑制表面凹凸干擾。

• 超大測量角度：支持 ±60° 測量角度，無需嚴(yán)格對準(zhǔn)被測物，對深孔、凹坑、曲面實(shí)現(xiàn)無si角檢測。

2. 抗干擾能力強(qiáng)，復(fù)雜環(huán)境穩(wěn)定輸出

• 共焦光學(xué)設(shè)計(jì)：通過針孔濾除雜光，僅聚焦位置的單色光被接收，抗環(huán)境光干擾能力卓yue，在強(qiáng)背光、多光源場景下仍保持?jǐn)?shù)據(jù)穩(wěn)定。

• 透明 / 鏡面材料友好：同軸共焦光路設(shè)計(jì)解決傳統(tǒng)激光傳感器在透明介質(zhì)（如玻璃、晶圓）或鏡面表面的光斑偏移問題，實(shí)現(xiàn)高度變化時(shí)測量點(diǎn)無偏差。

3. 超快響應(yīng)，高效生產(chǎn)賦能

• 最高 10kHz 采樣頻率：實(shí)時(shí)捕捉高速運(yùn)動(dòng)物體（如高速旋轉(zhuǎn)工件、生產(chǎn)線動(dòng)態(tài)檢測），確保動(dòng)態(tài)測量無延遲。

• 多接口兼容：標(biāo)配 USB、RS485、以太網(wǎng)、模擬量等 6 種 I/O 通道，支持 PC 端軟件、PLC 總線、編碼器同步觸發(fā)，無縫集成至自動(dòng)化產(chǎn)線。

4. 真空環(huán)境定制：突破極限環(huán)境約束

• 特殊材料與密封設(shè)計(jì)：針對真空（10??Pa 級）、高低溫（-20℃~+80℃）、高潔凈等極duan環(huán)境，采用全金屬密封探頭、抗揮發(fā)涂層及真空兼容光學(xué)元件，確保長期穩(wěn)定運(yùn)行。

• 行業(yè)專屬解決方案：適用于半導(dǎo)體晶圓制造（真空腔體內(nèi)厚度檢測）、航空航天部件真空環(huán)境測試、OLED 面板真空貼合精度校準(zhǔn)等場景，定制版本經(jīng)嚴(yán)格真空環(huán)境測試，性能零衰減。

技術(shù)原理：光譜共焦，光與距離的精準(zhǔn)映射

采用白色點(diǎn)光源經(jīng)色散共焦探頭，不同波長光聚焦于不同距離，形成 “光學(xué)位移標(biāo)尺”。被測物反射光通過同軸光路返回，經(jīng)針孔篩選后由光譜儀解析波長分布，通過波長 - 位移轉(zhuǎn)換曲線實(shí)時(shí)計(jì)算距離變化。該原理避免了傳統(tǒng)三角測量法的角度依賴性，對傾斜、曲面、透明介質(zhì)實(shí)現(xiàn)無偏差測量。

產(chǎn)品矩陣：多元型號滿足差異化需求

應(yīng)用領(lǐng)域：精密制造的全能助手

• 半導(dǎo)體與電子：晶圓厚度 / 平整度檢測、芯片封裝高度測量、PCB 焊盤共面性分析。

• 光學(xué)與顯示：手機(jī)玻璃曲面 R 角測量、OLED 面板厚度均勻性檢測、鏡頭曲率高精度校準(zhǔn)。

• 航空航天：發(fā)動(dòng)機(jī)葉片型面檢測、航空部件真空環(huán)境變形監(jiān)測、涂層厚度非接觸測量。

• 科研與計(jì)量：材料表面粗糙度分析、微納米器件位移標(biāo)定、生物醫(yī)學(xué)細(xì)胞顯微測量。

泓川科技可定制真空環(huán)境光譜共焦傳感器

定制服務(wù)：從標(biāo)準(zhǔn)到專屬的精準(zhǔn)適配

• 真空環(huán)境適配：提供探頭密封性強(qiáng)化、真空兼容線纜、抗熱脹冷縮結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，支持 10?3Pa~10??Pa 真空度定制。

• 特殊接口開發(fā)：根據(jù)客戶需求定制 EtherCAT、Profinet 等工業(yè)總線，或集成至特定自動(dòng)化系統(tǒng)。

• 光路定制：支持軸向 / 徑向出光模式、多探頭陣列集成，滿足復(fù)雜工位的多角度同步測量。

結(jié)語