實驗室超純水在電阻率、有機物含量、顆粒和細菌含量方面接近理論上的純度極限，通過離子交換、RO膜或蒸餾手段預純化，再經過核子級離子交換精純化得到超純水。通常超純水的電阻率可達18.2 MΩ.cm，TOC <10 ppb，濾除0.1 μm甚至更小的顆粒，細菌含量低于1 CFU/ml。超純水適合多種精密分析實驗的需求，如高效液相色譜(HPLC)、離子色譜(IC)和離子捕獲-質譜(ICP-MS)。

　　實驗室超純水機的工作原理是自來水經過精密濾芯和活性炭濾芯進行預處理，過濾泥沙等顆粒物和吸附異ζ等，讓自來水變得更加干凈，然后再通過反滲透裝置進行水質純化脫鹽，純化水進入儲水箱儲存起來，其水質可以達到國家三級水標準，同時反滲透裝置產水的廢水排掉。

　　反滲透純水通過純化柱進行深度脫鹽處理就得到一級水或者超純水，zui后如果用戶有特殊要求，則在超純水后面加上紫外殺菌或者微濾、超濾等裝置，除去水中殘余的細菌、微粒、熱源等。精密濾芯、活性炭濾芯、反滲透膜、純化柱都是具有相對壽命的材料，精密濾芯和活性炭濾芯實際上是對反滲透膜的保護，如果它們失效，那ô反滲透膜的負荷就加重，壽命減短，如果繼續開機的話，那產生的純水水質就下降，隨之就加重了純化柱的負擔，則純化柱的壽命就會縮短。zui終結果是加大了超純水機的使用成本。