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1200℃預(yù)加熱滑動(dòng)雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

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天津中環(huán)電爐股份有限公司成立于1993年,坐落于天津市北辰經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū),公司是集研發(fā)、制造、營(yíng)銷于一體的生產(chǎn)制造型高新技術(shù)企業(yè),以實(shí)驗(yàn)室電爐、工業(yè)電爐及熱分析儀器為產(chǎn)品核心,其中實(shí)驗(yàn)室電爐280余種,工業(yè)爐2大系列,熱分析類儀器30余種。在科研院所、各大高校和重點(diǎn)領(lǐng)域企業(yè)累計(jì)用戶上萬家。公司產(chǎn)品主要應(yīng)用于金屬材料、特種陶瓷、復(fù)合材料、半導(dǎo)體、納米材料、碳纖維、石墨烯等新材料領(lǐng)域。
2017年中環(huán)電爐成功登陸全國(guó)中小企業(yè)股份轉(zhuǎn)讓系統(tǒng)(證券代碼:872594)。








接觸角測(cè)量?jī)x,超快高溫?zé)Y(jié)爐,馬弗爐,箱式電爐,管式爐,排膠爐,鐘罩爐,PECVD系統(tǒng),CVD系統(tǒng)

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 化工,生物產(chǎn)業(yè),石油,電子/電池,鋼鐵/金屬

產(chǎn)品應(yīng)用:

PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。

產(chǎn)品組成:

PECVD系統(tǒng)配置:

1.1200度開啟式雙溫區(qū)真空管式爐

2.滑動(dòng)系統(tǒng)分為手動(dòng)、電動(dòng)滑動(dòng),并配置管內(nèi)測(cè)溫系統(tǒng)。

3.預(yù)加熱開啟式管式電爐

4.等離子射頻電源

5.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

6.真空系統(tǒng)(可選配中真空或高真空)  

產(chǎn)品特點(diǎn):

生長(zhǎng)溫度低;沉積速率快;成膜質(zhì)量好,適用范圍廣,設(shè)備簡(jiǎn)單。

天津中環(huán)電爐股份有限公司  地址:天津市北辰區(qū)北辰科技園區(qū)雙川道11號(hào)

 



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