激光干涉儀

激光干涉儀，關(guān)鍵字是激光和干涉。
干涉（interference）是兩列或兩列以上的波在空間中重疊時(shí)發(fā)生疊加從而形成新的波形的現(xiàn)象。對(duì)光源有一定的要求，而激光的三個(gè)特性能夠較好的發(fā)生干涉。
所以就出現(xiàn)了用激光干涉實(shí)現(xiàn)某種應(yīng)用的儀器。
一般性應(yīng)用都是測面型，距離，速度等。
因?yàn)閮墒鴿M足特定要求的激光能夠產(chǎn)生干涉條紋，而兩束光的相差導(dǎo)致干涉條紋的能量分布發(fā)生變化。通過采集干涉條紋的能量，反計(jì)算相差從而計(jì)算出被測物的局部面型變化，或者位置變化。
具體分類可分單頻和雙頻。常見的光路基本結(jié)構(gòu)有傅里葉，法波等，基本上就是雙光束干涉或者多光束干涉原理。

技術(shù)參數(shù)：
5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型： 
1. 線性：0.5ppm 
2. 測量范圍：40米（1D可選80米） 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值 
4. zui大范圍：800角秒 
5. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒 
6. 直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值 
7. zui大范圍：500um 
8. 垂直度精度：1角秒 
9. 溫度：0.2攝氏度 
10.濕度：5% 
11.壓力：1mmHg 

5D/6D精密型： 
1. 線性：0.2ppm 
2. 測量范圍：25米 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.5+0.05/m）角秒或1%顯示較大值 
4. zui大范圍：400角秒 
5. 滾動(dòng)角精度：0.5角秒 
6. 直線度精度：（0.5+0.1/m）um或1%顯示較大值 
7. zui大范圍：300um 
8. 垂直度精度：0.5角秒 
9. 溫度：0.1攝氏度 
10.濕度：3% 
11.壓力：0.3mmHg 

5D/6D高精密型： 
1. 線性：0.2ppm 
2. 測量范圍：根據(jù)用戶要求而定 
3. 偏擺角和俯仰角的精度：（0.2+0.02/m）角秒 
4. zui大范圍：500角秒 
5. 滾動(dòng)角精度：0.5角秒 
6. 直線度精度：（0.2+0.05/m）um 
7. zui大范圍：100um 
8. 垂直度精度：0.5角秒 
9. 溫度：0.1攝氏度 
10.濕度：3% 
11.壓力：0.3mmHg

主要特點(diǎn)：
1. 同時(shí)測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角 
2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器 
3. 可選的無線遙控傳感器zui長的控制距離可到25米 
4. 可測量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。 
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測量機(jī)床時(shí)不需三角架 
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間

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