3D共聚焦顯微鏡采用多孔共聚焦技術，結合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式，可在短時間(約幾秒)內精確量測物體的三維數據。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面，不需要在真空環境下測量，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴酷的工作環境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比，可以更精確量測物體高度，建立3D立體影像，優勢相當明顯。     

     一個特殊改裝的固定工作臺可以承載大體積高重量的測試物體，結合一個可以自由移動的滾輪式工作臺，μsurf mobile移動式3D測量系統可以輕易的傳輸并且設置在任意一個地方進行使用。μsurf mobile特別為大體積樣品的測量而開發。例如，軋輥和車身。由于其便攜性，它非常適用于工廠的在線檢查。μsurf mobile移動式3D測量系統只需幾分鐘準備便可進行測量，并且可以方便地架設在測試對象上--因為它的重量只有5公斤。根據不同測量要求可以編輯不同的應用方案。配有鼻輪和專業解決方案軟件的μsurf mobile移動式3D測量系統可滿足了各種各樣的測量任務。

應用

3D共聚焦顯微鏡用來測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。μsurf mobile主要對大型樣品進行測試，在以下幾個行業中被眾多企業廣泛使用：

汽車行業

印刷和造紙行業

鋼鐵行業

技術參數

LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h

測量時間：5~10秒

測量原理：非接觸、共聚焦、可移動，可以檢測大型的物體

X/Y方向移動范圍：50mmX50mm，馬達驅動，X/Y方向分辨率：0.3μm

Z方向移動范圍：35mm

Z方向測量范圍：250μm，Z方向分辨率：< 10nm

物鏡：10X、20X、50X、100X(可選)

計算機：高性能計算機控制系統，功能強大且全面的軟件，有拼接功能

工作電源：90-265 V, 50-60 Hz, input < 50 W（也可用電池做電源）

材質：鋼鐵、橡膠、大理石

外型尺寸：380*110*115mm

重量：5.5KG（不含防震拉桿箱）

潔凈室等級: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)