ILP-500C 是韓國APP公司氬氣等離子的標準產(chǎn)品，有效處理寬幅500毫米，設備工作期間無臭氧等有害氣體，無需排氣，等離子輝光溫度低至40℃，除了玻璃，金屬，晶圓等材質(zhì)，對于耐熱性能較差的薄膜，F(xiàn)PCB軟版等也可以處理，不會造成電弧擊傷和燒傷。處理效果持久，可用于后段制程，在包裝出貨到下游廠家時，材質(zhì)表面依然保持較高的親水效果。

ILP-500C韓國APP等離子清洗機設備常用規(guī)格

1-1. 外形尺寸 :  1855mm(L) x 1137mm(W) x 1251mm(H)

1-2. 重量： 220公斤

1-3. 電源 : 交流  220伏，單相50~60赫茲   ~ 15安

1-4 .使用氣體 : 氬氣（Ar）,氧氣（O2） 氣體純度>99.9%

1-5 .接地 : 電源常規(guī)接地

1-6. 制冷方式  : 空冷、水冷

1-7.等離子輝光安全:不損傷油墨

1-8.處理后水滴角：可視區(qū)：5°- 15°，油墨區(qū):25°- 50°

2. 韓國APP等離子清洗機等離子單元

2-1. 等離子頭尺寸: 550(w) x 80(w) x 60(h)，

2-2. 使用氣體 : 氬氣（Ar）, 氧氣（O2）純度均不低于99.9%

2-3. 電極 :

.處理寬度: 500mm

. 鋁制正電極 裝配: 接地

. Φ6  Gas Tube one touch Fitting          

2-4. RF 射頻發(fā)生器

- 頻率 : 13.56兆赫

- 大功率: ~600W(ILP-500C)                                

- 制冷方式 : 空冷

2-5. 數(shù)字式射頻調(diào)諧器

- 調(diào)諧器: 13.56兆赫，

- 大功率: ~600W (ILP-500C)

-制冷方式 : 空冷

2-6. 水冷系統(tǒng)：冷卻水罐配套水泵式系統(tǒng)