一．高精度電容薄膜真空計VR-208C-510D（E）概述：

PBS-510xx-C1型電容薄膜真空計是PBS-510系列薄膜真空計產品型號之一（全系列產品型號及分類參見附錄1）。其主要特點是精度等級較高、計量可重復性好、采用DB15D電纜插座(線位與MKS600系列等薄膜真空計相同.可以替代使用)。PBS-510xx-C1型電容薄膜真空計，從測量機理上，它具有傳統的電容薄膜規*的良好的線性度、測量值與被測氣體成分無關等優點；從其結構上，它采用了新一代的MCU數字芯片器件，是一種智能型的數字式真空傳感器。PBS-510xx-C1型電容薄膜真空計不僅可以輸出多種標準模擬量信號，還可以有RS-485MODBUS、HART等協議的數據通訊接口供選配，以實現直接與智能型科學儀器之間的數據通訊。  

PBS-510A/B/C/D-C1型薄膜真空計適用于實驗室環境和精密科學儀器配套使用，對溫濕度、振動、被測氣體壓力波動率、空氣潔凈度、電磁干擾強度等都有一定的要求，另外，為了保證高精度真空壓力測量，對后續二次儀表、采集電路精度等級、分辨率、供電電源條件、保護地線、工作地線等等技術要求必須符合產品有關規定；因此，使用本型號產品之前，務必詳細閱讀并理解此使用說明書。

二．結構與安裝使用

（ 一）結構：

PBS-510x-C1薄膜真空計外觀如圖1所示：                     3.↓

1.外殼；                                                                                            

2 KF-16真空快卸法蘭接口；                           1→       ↓  ←6

3.D15插座；

4.S-滿度調節孔；                                          4    5

5.Z--零點調節孔；

6.固定螺母。

 （二）安裝

1.避免在有較強振動、電磁干擾環境中使用。

設備需有良好工作地線（接地電阻<20~25歐姆）；

設備外殼良好接地（保護地線） ；                                   2→

2. 電容薄膜真空計 應安裝于 垂直位置（如圖）

 如設備位置必須安裝于水平或其他角度位置時

 必須重新帶角度校準 ，修正由此帶來的附加誤差。  圖一 PBS-510xx-C1型薄膜真空計

3. 真空連接 標配采用NW16 ISO-KF (即：KF-16) 真空快卸法蘭，配套件備有

304不銹鋼材質的KF-16焊接法蘭，和卡箍、中心支架、O型橡膠密封圈、通過焊接法蘭頭連接到設備管道或容器。安裝注意檢查焊接法蘭焊接質量、法蘭端面、密封圈的光潔度及清潔與否 ，注意真空密封良好和安裝穩定牢固。

（三）.電氣連接：

1.高精度電容薄膜真空計VR-208C-510D（E）的電氣連接采用D15型15針高可靠性接插件，其標配的電源電壓為±15Vdc；電流：<35mA;三線制；輸出信號：0～10VDC,與電源電壓供地接法。如下圖所示：;

• 使用±15VCD電源時，接線端子如下：

                             d7-------  +15VDC----- 連接電纜分線色：  紅色或棕色    

                             d6------  —15VDC------ 連接電纜分線色： 藍色

                             d2------  輸出0--10V-------   連接電纜分線色：  黃色或灰色

                             D12 ------- 輸出零位（電源0位，接外殼）----- 連接電纜分線色： 黑色

• 使用24VCD電源時，接線端子如下：

                             d7-------  24VDC正極 ----- 連接電纜分線色：  紅色 或棕色    

                             d6------  。。。。。。負極--------- 連接電纜分線色： 藍色

                             d2------  輸出0--10V-------   連接電纜分線色：   黃色 或灰色

                             D12 ------- 輸出零位（接外殼）----- 連接電纜分線色： 黑色

                             圖. 2 PBS-510xx-C1型薄膜真空計 電氣連接說明

(四).計量校準

PBS-510xx-C1型薄膜真空計屬于高精度計量器具，應定期計量檢定。用于檢定的標準器其精度應高于被檢定儀器的一個精度等級以上。使用中若需調校零點，必須要有較高真空度的真空源。建議平時盡量不要隨便自行調校，可送（具有該項目CNAS檢定資質的）當地行政計量技術機構檢定調校和校準。建議的計量檢定周期為一年。

• 售后服務及注意事項

1.使用前務必詳細閱讀使用說明書，以防誤操作；

2.出現故障現象，請及時與廠家聯系，切不可擅自修理，以防人為故障。

3.儀器的質保期為18個月，超出質保期，或人為損壞，或自行拆卸者 ，需支付維修工本費；

4.配接二次儀表，必須詳細了解其技術性能、輸入阻抗、測量分辨率必須符合薄膜真空計的具體技術指標，建議二次儀表的輸入阻抗必須大于100k～1000k歐姆，測量的AD轉換分辨率高于20位.；外接電源電壓必須符合薄膜真空計具體規格要求，詳細見產品技術指標。

主要技術指標：

測量范圍：（1Tor、10Tor、100Tor、1000Tor）

測量精度：0.1級、0.25級

測量分辨率：0.0001Tor、0.001Tor、0.01Tor、0.1Tor

輸出信號：4~20mA1—5V0～10V,

阻抗：<600Ω；

響應時間：≦20ms

典型使用環境溫度范圍：10—50C；

電源電壓：±15V(標配)、±12V、24V DC,

材質：304不銹鋼          

過載壓力：400kPa

外形尺寸：Φ48x125mm ，

重量：0.39kg                  

真空接口標準：NW16 ISO KF(標配)

電氣連接  ：15 PIN D-sub