系列微納結構三維形貌檢測儀，基于白光干涉掃描原理，以光波長作為測量基準，利用納米級高精度掃描系統結合具有自主知識產權的高精度解析算法，實現連續或臺階突變微納結構表面三維形貌重構，由此獲得待測物體三維形貌、表面紋理、微觀尺寸等各類外觀參數測量結果。

微納結構三維形貌測量儀本產品具有以下特點：
高的測量精度：基于干涉測量原理，測量重復性達到1nm。
大的測量范圍：采用*掃描系統，在保證納米定位精度的同時，單場掃描范圍可達到10mm，結合白光光源重構方法，可滿足曲面元件等大范圍物體測量需求。
全自動測量：標配自動檢焦功能，結合自動調焦裝置，無需復雜調節過程，一鍵操作即可完成調焦、檢測全過程。選配自動二維平臺，可自動完成大面積三維數據拼接操作
高集成度、安裝簡便：整機集成為統一整體，僅需外接220v電源，通過USB3.0 數據傳輸，即可完成數據傳輸與測量
具有高的性價比：保證系統性能的同時，降低制造成本
靈活性高：可根據用戶需求，對系統進行改進，滿足工業不同應用場景需求。