臺階儀產(chǎn)品簡介

KLA臺階儀

Zeta-300光學輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測量系統(tǒng)。Zeta-300繼承了Zeta-20的功能，并增加了隔離選項以及處理更大樣品的靈活性。該系統(tǒng)采用ZDot™技術(shù)和Multi-Mode（多模式）光學系統(tǒng)，可以對各種不同的樣品進行測量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理，以及納米至毫米級別的臺階高度。

Zeta-300的配置靈活并易于使用，并集合了六種不同的光學量測技術(shù)。ZDot™測量模式可同時收集高分辨率3D掃描和True Color無限遠焦距圖像。其他3D測量技術(shù)包括白光干涉測量、Nomarski干涉對比顯微鏡和剪切干涉測量。ZDot或集成寬帶反射計都可以對薄膜厚度進行測量。Zeta-300也是一種高級顯微鏡，可用于樣品復檢或自動缺陷檢測。Zeta-300通過提供全面的臺階高度、粗糙度和薄膜厚度的測量以及缺陷檢測功能，適用于研發(fā)及生產(chǎn)環(huán)境。

主要應用

1. 臺階高度：納米到毫米級的3D臺階高度；2. 紋理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度；3. 外形：3D翹曲和形狀；4. 應力：2D薄膜應力；5. 薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度；6. 缺陷檢查：捕獲大于1μm的缺陷；7. 缺陷復檢：采用KLARF文件作為導航以測量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置

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