美國粒子監測系統公司（PMS）推出的Ultra DI® 20液體粒子計數器，專為超純水系統而設計，可快速獲得有統計意義的數據，并對小至20納米的污染物進行計數和尺寸測定。即便儀器移動，也能達到數據一致性，有助于您獲得更多統計信息以實現更好的過程控制。Ultra DI 20液體粒子計數器實現了低零計數、大采樣量、高計數效率，可提供粒子對標檢測。最小可監測20納米聚苯乙烯乳膠（PSL）和9納米金（Au），更高靈敏度可以更快監測出制程變化。

UDI-20是PMS推出的具有良好靈敏度的產品之一，這意味著市場上找不到比這更靈敏的產品，而只有PMS能提供多種產品系列以滿足不同的監測需求。目前，在超純水、化學品和空氣分子污染物監測方面，PMS產品均表現出良好的的監測性能、靈敏度和可靠性。PMS以知識、技術和服務，為高科技企業和化學制造公司提供良好的工具，使其能夠基于數據做出精準決策，提高業績和產量。

特點

• 良好的激光光學技術和傳感器能夠檢測到小至20納米的粒子（9納米金）

• 在18至29°C的操作環境下通過對粒子進行熱穩定測量，以實現不同儀器間數據穩定性和匹配度

• 每毫升<10個粒子的濃度下，儀器間匹配度在20%以內

• 可與全球各地任何環境條件下多個晶圓廠的超純水系統性能媲美

• 集群管理器可互換，不會出現中斷或產生數據問題

• 兩種計數模式：1）高分辨率——用于高純凈環境；2）高濃度——用于過濾器挑戰測試和低純凈環境

• 通過4-20mA直接連接至可編程控制器（PLC）和監控數據采集（SCADA）系統，并通過以太網通信來利用現有網絡

• 粒子計數器數據本地顯示

• 該粒子計數器擁有更大樣品量和超低的零計數，從而能獲取更多相關統計數據來實現更小的誤差偏離

• 通過以太網通信來利用現有網絡

• 通過4-20mA直接連接至可編程控制器（PLC）和監控數據采集（SCADA）系統

• 與臭氧水兼容

• 采用不銹鋼外殼和雙HEPA-級過濾，供潔凈環境下使用

優勢

• 全新設計省去了環境保護柜的額外購買價格和維護成本

• 通過實時粒子測量，對污染作出即時反應

• 快速獲得有意義的統計數據，以檢測粒子的誤差偏離，并排除問題

• 快速清理樣品，縮短了從一個采樣點轉移到另一個采樣點的時間

• 采用更短采樣間隔，加快分析時間

• FacilityNet軟件提供更復雜的過程控制

• 通過降低樣品間差異來實現更嚴格的過程控制限值設定

應用場景

• 對超純水（UPW）系統中的粒子濃度進行量化

• 過濾器效率測定

• 在更低粒子濃度下進行趨勢分析

• 檢測超純水系統中的細菌生長情況

• 偶發事件的跟蹤和報警

• 對系統進行連續的粒子監測

• 制造流程控制

   

使用的具體步驟：  

1.被檢測的過濾器必須已經經過風量的測試，在設計風速的80%-120%之間運行。  

2.被檢測的高效過濾器上風側一定要確定大氣塵的微粒數，以大于或等于0.5mm微粒為標準，其濃度必須大于或等于3.5×10^4粒/L。  

3.如果檢測的是超高效過濾器的話，則以大于或等于0.1mm微粒為準，其濃度必須大于或等于3.5×10^6-3.5×10^7粒/L。  

4.如果過濾器的上風側濃度不符合以上規定的話，則應該引入不經過濾的空氣；如果經過測試還不能達到規定的話，則不宜使用粒子計數器法進行檢測。  

5.檢漏的時候要注意將采樣口放在距離被檢測過濾器表面的2-3CM處，并且以5-20MM/S的速度移動。  

6.不要忘記對被檢測過濾器的整個斷面、封頭膠和安裝框架處進行多方面的掃描。