| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣,綜合 |
|---|---|---|---|
| 型號 | HPQ2 | M/N | CU:LM75?ANALYSER:LM506 |
| 設備狀態 | Refurblished |
MKS RGA 殘余氣體分析儀 HPQ2 采用了經過現場驗證的HPQ分析儀技術，傳統的殘留氣體分析（RGA）工作總壓力上限為1e- 4mbar，限制了許多工藝應用。但HPQ2 RGA允許操作高達0.001 Torr，且不需要差速泵送。經過現場驗證的HPQ分析儀技術，加上來自Microvision 2系列的創新電子平臺，提供了這類儀器以前從未見過的數據質量。由此產生的系統更簡單，安裝要求更低，以更低的成本提供更高的可靠性。
MKS RGA 殘余氣體分析儀 HPQ2 能夠使用靈活的工業標準通信協議，快速、準確地獲取來自RGA傳感器的數據。HPQ2還提供完整的附加數字和模擬連接，以靈活的低成本解決方案集成到系統中。此外還具有一下特點：
1.總壓力0.001Torr 的工作上限
2.用于真空管路、冷卻管路、焊縫和密封件的泄漏檢測
3.用于腔室污染物監測，包括碳氫化合物
4.驗證工藝氣體的質量
MKS RGA HPQ2 技術參數
質量范圍：1~100aumu
探測器：Faraday探測器
分析器工作壓力（MAX）：0.001Torr（0.0013mbar）
可檢分壓強（MIN）：8e-11Torr（1e-10mbar）
可檢測濃度（MIN）：5ppm在0.001Torr環境下
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