當使用以SF6氣體為絕緣和滅弧介質的室內開關在使用過程中發生泄漏時，泄漏出來的SF6氣體及其分解物會往室內低層空間積聚，造成局部缺氧和帶毒，對進入室內的工作人員的生命安全構成了嚴重的危險。

工采網工程師列舉了SF6氣體泄漏發生的幾個常見主要部位：

（1）液壓機構的主要漏油部位有：三通閥和放油閥、高低壓油管、壓力表和壓力繼電器接頭以及工作缸活塞桿和貯壓筒活塞桿的密封受損處、低壓油箱的砂眼處等。

（2）SF6斷路器本體的漏氣部位有：支柱驅動桿和密封圈劃傷處、充氣閥密封不良處、支柱瓷套根部有裂紋處、法蘭聯接處、滅弧室頂蓋有砂眼處、三聯箱蓋板、氣體管路接頭、密度繼電器接口、二次壓力表接頭、焊縫和密封槽與密封圈（墊）尺寸不配合等處。

（3）GIS的漏氣部位有：隔室、絕緣子、O型密封圈、開關絕緣桿、互感器二次線端子、箱板連接點、氣室母管、附件砂眼處和氣室伸縮節接口等處。

SF6氣體泄漏造成后果：

（1）對液壓機構，漏油會引起短時頻繁啟泵打壓或補壓時間過長，閥體大量內滲油會造成失壓故障，液壓油進入儲壓筒氮氣側會造成壓力異常升高等，這會影響SF6斷路器安全運行。

（2）對于SF6斷路器和GIS，雖然泄漏到大氣中的SF6濃度很低，但它在大氣中有很長的殘存期，并能吸收紅外輻射而產生溫室效應。此外，頻繁補氣和SF6氣體的大量泄漏，不僅影響設備安全運行，也影響人身健康。