| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 能源,電子/電池,電氣 |
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廣州金程科學儀器公司供應的雅馬拓YAMATO等離子清洗機PDC200/PDC210/PDC510，均勻性高的電極構造，操作簡單的觸摸屏控制器，適用于研究開發的小型等離子清洗機。雅馬拓YAMATO小型等離子清洗機表面處理儀
儀器特點：
DP模式（PDC510標配·PDC200/210選配）。
RIE模式。
均勻性高的電極構造。
操作簡單的觸摸屏控制器。
型號 | PDC200 | PDC210 | PDC510 | |
等離子模式 | RIE（DP模式選配） | |||
電極構造 | 平行平板（固定） | |||
高頻輸出 | Max300W | Max500W | ||
頻率 | 13.56MHz | |||
反應腔尺寸 | W400xD250Lx150mm | W500xD300Lx200mm | ||
電極尺寸 | W250xD170mm | W400xD200mm | ||
反應室材質 | 2系統（Ar、O2） | |||
填充氣體 | N2或干燥空氣 | |||
反應氣體流量控制 | 流量計 | 聚合控制器 | ||
真空泵 | 另行選配 | 油泵（約345L/分）標配 | 油泵（500L/分）標配 | |
氣體導入口 | 反應氣體2個、填充氣體1個 | |||
外形尺寸 | W540xD600xH600mm | W540xD600xH600mm | W700xD700xH1285mm | |
重量 | 約100KG | 約105KG | 約180KG | |
電源 | 單相AC100V 10A | 三相AC200V 6A | 三相AC200V 8A | |
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