Uniscan M470

微區掃描電化學工作站基于電化學掃描探針設計，具有超高測量分辨率及空間分辨率的非接觸式微區形貌及電化學微區測試系統，快速精準的閉環定位系統為電化學掃描探針納米級研究的需求而特別設計。目前已迭代至第四代掃描探針系統，是最靈活的電化學掃描探針工作平臺，適配多種探針技術和不同模塊。

一、9種探針技術

1.掃描電化學顯微系統（SECM）

2.交流掃描電化學顯微鏡系統（ac-SECM）

3.間歇接觸掃描電化學顯微鏡系統（ic-SECM）

4.微區電化學阻抗測試系統(LEIS)

5.掃描振動點擊測試系統（SVET）

6.電解液微滴掃描系統（SDS）

7.交流電解液微滴掃描系統（ac-SDS）

8.掃描開爾文探針測試系統（SKP）

9.非觸式微區形貌測試系統（OSP）

二、M470 微區掃描電化學工作站特征：

1.SECM自動處理曲線。

2.SECM用戶自定義處理曲線步長變化。

3.高分辨率讀取。

4.手動或自動調節相位。

5.傾斜校正。

6.X或Y曲線相減（5階多項式）。

7.2D或3D快速傅里葉變化。

8.實驗，探針移動和區域繪圖的自動排序。

9.圖形實驗測序引擎（GESE）。

10.支持多區域掃描。

11.所有實驗多個數據視圖。

12.峰值分析。

三、掃描工作臺（適配所有探針技術）                

1.掃描范圍（x,y,z）：大于100mm

2.掃描驅動分辨率 ：高0.1nm

3.閉環定位：線性零滯后編碼器，直接實時讀出x,z和y位移

4.軸分辨率（x,y,z）：20nm

5.大掃描速度：12.5mm/s

四、壓電（ic-和ac-掃描探針技術）

1.振動范圍：20nm~ 2μm峰與峰之間1nm增量

2.最小振動分辨率：0.12nm(16-bit DAC,4μm)

3.壓電晶體伸展：100μm

4.定位分辨率 ：0.09nm(20-bit DAC ,100μm)