產品名稱

GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀

產品型號

GSL-1100X-SPC-16

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氬氣（純度 99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥）

4、工作臺： 尺寸 600mm×600mm×700mm ，,承重 50kg 以上

5、通風裝置：不需要

主要特點

1、設有真空表、濺射電流表，可實時監控工作狀態。

2、通過調節濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電 離氣體，以獲得的鍍膜效果。

3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計，可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。

4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。

5、根據電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻

純凈。

6 、已通過 CE 認證。

技術參數

1、電源： 220V

2、總功率： <2000W  （包括真空泵）

3、真空室： ?160mm×120mm

4 、樣品臺： ?50mm，且高度可調， 可同時進行 8 個 SEM 樣品的鍍膜

5 、max 均勻鍍膜： ?45mm

產品規格

尺寸： 400mm×300mm×400mm；重量： 30kg

標準配件

1

金靶材

1 個

2

進氣針閥

1 個

3

保險絲

2 個

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材