CIF 推出的新一代科研型等離子清洗設(shè)備，合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，優(yōu)化的腔體尺寸，使得處理樣品更大，適用范圍更廣。 產(chǎn)品性能穩(wěn)定，操作簡(jiǎn)單方便，易維護(hù)。

應(yīng)用領(lǐng)域：

等離子清洗設(shè)備廣泛應(yīng)用于材料學(xué)、微電子、半導(dǎo)體、線 路板、LED、微流控、光電太陽(yáng)能、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域，主要用 于材料表面進(jìn)行清洗、改性、刻蝕等目的。

 產(chǎn)品特點(diǎn)：

◆  7 寸彩色觸摸屏中英文互動(dòng)操作界面，自動(dòng)控制監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)，20 個(gè)配方程序，工藝數(shù)據(jù)可存儲(chǔ)追溯。

◆  PLC 控制整個(gè)清洗過(guò)程，手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。

◆  用美國(guó)德威爾（Dwyer）氣體浮子流量計(jì)或質(zhì)量流量計(jì)  (CPC-FM)，可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)狻錃饣蚧旌蠚獾葰怏w，氣體控制準(zhǔn)確。

◆  氣體返填吹掃，HEPA 高效過(guò)濾，防止二次污染。

◆  316 不銹鋼、石英真空艙可選擇，全真空管路系統(tǒng)采用316 不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無(wú)污染。

◆  采用 60 度傾角操作面板設(shè)計(jì)，符合人體功能學(xué)，操作方 便，界面友好。

◆  上控制下艙體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，占地空間小。

◆  內(nèi)凹式前面板設(shè)計(jì)，有效保護(hù)流量計(jì)和艙門(mén)不易損壞。

◆  處理快速高效均勻，無(wú)污染，工藝重復(fù)性好。

◆  樣品處理溫度低，無(wú)熱損傷和熱氧化。

◆  安全保護(hù)，艙門(mén)打開(kāi)，自動(dòng)關(guān)閉電源。

技術(shù)參數(shù)