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AP200/300 投影步進(jìn)式光刻機(jī)

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光刻投影步進(jìn)

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護(hù)、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實(shí)驗(yàn)室整體服務(wù)。

公司目前已授實(shí)用新型權(quán)利 29 項(xiàng),軟件著作權(quán) 14 項(xiàng),是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺(tái),快速退火爐,光刻機(jī),納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品概述:

AP200/300系列光刻系統(tǒng)基于Veeco的可定制Unity平臺(tái)™構(gòu)建,可提供覆蓋層、分辨率和側(cè)壁輪廓性能,并可實(shí)現(xiàn)高度自動(dòng)化和具有成本效益的制造。這些系統(tǒng)特別適用于銅柱、扇出、硅通孔(TSV)和硅中介層應(yīng)用。此外,該平臺(tái)還具有許多特定于應(yīng)用的產(chǎn)品功能,可實(shí)現(xiàn)下一代封裝技術(shù),例如增強(qiáng)的翹曲晶圓處理、雙面對(duì)準(zhǔn)和光學(xué)聚焦。

2.主要特點(diǎn)

2μm分辨率寬帶投影鏡頭,為先進(jìn)封裝應(yīng)用而設(shè)計(jì)

曝光波長為350–450nm,適用于各種先進(jìn)封裝感光材料

可編程波長選擇(GHI、GH、I),用于工藝優(yōu)化和工藝寬容度

高強(qiáng)度照明提供系統(tǒng)吞吐量

適用于厚光刻膠工藝和大型晶圓形貌的大焦深

高系統(tǒng)吞吐量,帶來有利的系統(tǒng)擁有成本

高強(qiáng)度照明可減少曝光時(shí)間

8x26mm的視場大小可暴露兩個(gè)掃描視場,從而減少每個(gè)晶圓的曝光步驟數(shù)

快速系統(tǒng)載物臺(tái)和晶圓輸入/輸出系統(tǒng)

具有自計(jì)量功能的靈活對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

機(jī)器視覺系統(tǒng)(MVS)對(duì)準(zhǔn)功能消除了對(duì)用對(duì)準(zhǔn)目標(biāo)的需求,并簡化了過程集成

用于硅通孔和3D封裝的紅外對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),使用嵌入式/埋式目標(biāo)捕獲

步進(jìn)自測量(SSM)用于優(yōu)化產(chǎn)品覆蓋

先進(jìn)封裝特定特性

用于電鍍工藝的晶圓邊緣曝光和晶圓邊緣排除功能

翹曲晶圓處理能力可達(dá)7mm,適用于扇出應(yīng)用

通用晶圓處理,無需硬件轉(zhuǎn)換(8和12英寸;或6和8英寸)

用于制造大面積中介層的現(xiàn)場拼接軟件

完整的SECS/GEM軟件包支持生產(chǎn)自動(dòng)化和設(shè)備/過程跟蹤

3.設(shè)備應(yīng)用:

先進(jìn)封裝

發(fā)光二管

微機(jī)電系統(tǒng)

功率器件

AP200/300應(yīng)用套件:

重新分布層

微柱

硅通孔

Veeco通過AP光刻技術(shù)實(shí)現(xiàn)重大差異:

行業(yè)翹曲晶圓處理

光學(xué)對(duì)焦能力

CD均勻性生產(chǎn)線分辨率,適用于L/S

安裝基礎(chǔ)和經(jīng)過驗(yàn)證的大批量生產(chǎn)




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