一、產品介紹：

KYKY-EM69系列鎢燈絲掃描電子顯微鏡

成像質量出色、拓展性豐富、兼容低真空模塊、自動功能強大，結合眾多自動化功能，可幫助您在材料科學、生命科學或工業領域等進行科學研究及失效分析。

二、產品特點：

采用雙陽極設計，低電壓下分辨率和成像質量更高;

樣品臺和倉門一體化設計，方便換樣，同時可選配多功能超大樣品倉;

樣品定位與保護功能，紅外CCD功能實時監測樣品位置，軟件可根據樣品尺寸開啟保護功能，防止樣品碰撞，樣品臺碰撞瞬間可自動停止工作。

三、拓展功能：擴展接口≥13個，可以拓展多種附件以及提供多種定制化服務以及解決方案。

四、電子束曝光功能：

掃描電鏡改造為電子束曝光系統（EBL）后，能夠精確地控制電子束的掃描路徑和能量沉積，從而實現高分辨率的圖形曝光。該系統采用先進的電子束掃描控制技術，支持靈活多樣的圖案設計和精確控制，不僅具有電子束曝光功能，還保留了原SEM 的觀測功能，這使得用戶可以在同一臺設備上完成樣品的觀測和加工，提高了工作效率和便利性。

五、技術參數

六、產品功能

七、應用案例