日本ULVAC愛發科半導體SiC 高溫離子注入機

日本ULVAC愛發科半導體SiC 高溫離子注入機

SiC 高溫離子注入機IH-860PSIC

這是配備高溫ESC的用于SiC量產的高能離子注入機。

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