CY-MSZ194-I-DC-SS 桌面型單靶直流磁控濺射鍍膜儀
參考價 | ¥ 120000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CY-MSZ194-I-DC-SS
- 產地 鄭州
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/12/3 11:54:43
- 訪問次數 88
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產地類別 | 國產 | 價格區間 | 5萬-10萬 |
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應用領域 | 能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,汽車及零部件,電氣 | 真空腔體 | 直徑≦100mm的平面樣品均可 |
樣品臺尺寸 | 直徑≦100mm的平面樣品均可 | 磁控靶 | 普通永磁靶,可調角度 |
靶材尺寸 | 直徑2英寸,厚度≦3mm, | 濺射功率 | 濺射功率 |
本設備為桌面型單靶直流磁控濺射鍍膜儀,可用于金屬薄膜的制備,在電子領域、光學領域、特殊陶瓷制備等領域均有應用,也可實驗室SEM樣品制備。
本套配置采用高真空不銹鋼腔體,腔體設置帶擋板的石英觀察窗,便于實驗的觀察記錄;腔體設計真空性能優良,造型小巧,十分適合實驗室使用。同時設備配有旋轉加熱樣品臺,可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質量。整機采用模塊化設計,操作邏輯簡單,操作界面直觀,利于上手。
桌面型單靶直流磁控濺射鍍膜儀技術參數:
產品名稱 | 桌面型不銹鋼腔體單靶直流磁控濺射鍍膜儀 | |
產品型號 | CY-MSZ194-I-DC-SS | |
樣品臺 | 外形尺寸 | φ100mm |
加熱溫度 | ≦500℃ | |
可調轉速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 配一支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ194mm X 263mm |
觀察窗口 | φ50mm | |
腔體材料 | 304不銹鋼 | |
開啟方式 | 上蓋開啟式 | |
真空系統 | 前級泵 | 低噪音雙極旋片泵 |
分子泵 | 低噪音大抽速渦輪分子泵 | |
真空測量 | 復合真空計,量程:10-5~105Pa | |
抽氣接口 | KF16 | |
抽氣接口 | KF40 | |
排氣接口 | KF16 | |
系統真空 | 1.0×10-4Pa | |
供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 分子泵抽速60L/s,前級泵抽速1.1L/s | |
電源配置 | 電源數量 | 直流電源一套 |
輸出功率 | 直流電源500W | |
其他參數 | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
整機功率 | 2kW | |
重量 | 80kg | |
整機尺寸 | 550mm X 450mm X750mm |