CY-MS500S-2TA1S 高真空多弧離子鍍膜儀
參考價 | ¥ 50000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 CY-MS500S-2TA1S
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/12/18 15:26:20
- 訪問次數 56
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產地類別 | 國產 | 價格區間 | 5萬-10萬 |
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應用領域 | 地礦,能源,建材/家具,電子/電池,鋼鐵/金屬 |
簡單介紹:
高真空多弧離子鍍膜儀制備多元非晶合金,制備金屬化合物,如氧化物和氮化物薄膜(氧氣或氮氣氛圍),制備納米顆粒催化劑膜,用熱電材料靶材制備熱電效應薄膜。
詳情介紹:
高真空多弧離子鍍膜儀利用電弧放電將導電材料離子化,利用其繞射性好的優勢,產生高能離子并沉積在基底上(特別是泡沫鎳等多孔基底),制備納米級薄膜鍍層或納米顆粒。主要由鍍膜室、多弧靶、多弧電源、脈沖偏壓電源、樣品臺、加熱、真空系統、氣路系統、PLC+觸摸屏半自動控制系統等組成;該設備主機與控制一體化設計,操控方便;結構緊湊,占地面積小。該系列設備廣泛應用于高校、科研院所的教學、科研實驗以及生產型企業前期探索性實驗及開發新產品等,深受廣大用戶好評。
主要用途:
制備多元非晶合金,制備金屬化合物,如氧化物和氮化物薄膜(氧氣或氮氣氛圍),制備納米顆粒催化劑膜,用熱電材料靶材制備熱電效應薄膜。
技術參數:
1.真空腔室 | Ф500×H420mm,304 上等不銹鋼,前開門結構; 腔室加熱溫度:室溫~350±1℃; |
2.真空系統 | 復合分子泵+直聯旋片泵+高真空閥門組合的高真空系統,數顯復合真空計; |
| 優于 6.0×10-5Pa(空載,經烘烤除氣后); |
4.漏率 | 設備升壓率≤0.8Pa/h; 設備保壓:停泵 12 小時候后,真空≤10Pa; |
5.抽速 | (空載)從大氣抽至 5.0×10-3Pa≤15min; |
6.基片臺尺寸 | Φ150mm,自轉工位 3 個; |
7.基片臺旋轉 | 基片旋轉:0~20 轉/分鐘; |
8.濺射靶 | DN100 新型磁過濾多弧靶 2 套 |
9.脈沖偏壓電源 | -1000V,1 套; |
11.控制方式 | PLC+觸摸屏人機界面半自動控制系統; |
12.報警及保護 | 對泵、電極等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警并執行相應保護措施;完善 的邏輯程序互鎖保護系統; |
13.占地 | (主機)L1900×W800×H1900(mm)。 |