HORIBA堀場 玉科精選 超薄質量流量模塊

HORIBA堀場 玉科精選 超薄質量流量模塊

DZ-100 繼承了與 HORIBA STEC 的 MFC D500 相同的 CRITERION™ 技術——用于層流粘性流范圍的差壓檢測系統。這項創新技術可以高精度地控制各種氣體的質量流量。與 D500 一樣，用戶可配置的 DZ-100 支持多量程和多氣體應用。MFC 的緊湊設計減少了內部氣體流路的內部體積，優化的控制算法提高了響應特性。它使用具有高處理能力的緊湊型 CPU，壓電驅動電路和控制 CPU 安裝在 MFC 模塊中，而電源組件則安裝在單獨的小型控制箱中。通過使用專用的微型連接器連接，最多可以控制四個 MFC 模塊。

特征

• 快速響應（≦0.4 秒）

• 重量輕、緊湊（寬：10mm、高：99mm）

• 擴大工作供氣壓力范圍