HORIBA堀場高速和精密壓力不敏感質量流量計

HORIBA堀場高速和精密壓力不敏感質量流量計

高速和精密壓力不敏感質量流量模塊

關鍵的半導體制造工藝不斷需要精密的氣體流量控制器件，這些器件既能實現未來的創新，又能實現前沿存儲器和邏輯器件從實驗室到晶圓廠的過渡。HORIBA 提出了新的基于壓力的 MFC D700MG，這是 D500MG 的上部兼容型號，以支持客戶的挑戰

• 機上氣體和滿量程配置更改 *僅限 EtherCAT

• 為流程優化提供靈活性

• 100ms 升壓響應和 MFC 到 MFC 偏差控制

• 提供高生產率和更好的過程性能

• 用于小流速的 MRMG 功能 （Bin101 – Bin105）

• 為需要小流速的工藝提供靈活性

• PFA 噴嘴具有更好的閥門關閉和耐腐蝕性

• 堅固耐用，顆粒風險更低，減少停機時間并優化產量

• 狀態監控器功能

• 提供更多內部數據，實現更智能的故障預測