應用領域 | 環保,食品/農產品,化工,電子/電池,制藥/生物制藥 |
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湖北專業定制2噸工業超純水設備廠家工藝設計
工業超純水設備需滿足電子、半導體、光伏、電鍍等行業的嚴苛水質要求(如電阻率≥18.2MΩ·cm),以下為典型工藝流程及關鍵特點:
一、工藝流程
預處理階段
多介質過濾器:去除懸浮物、膠體、鐵銹等大顆粒雜質(過濾精度5-10μm)。
活性炭過濾器:吸附余氯、有機物、異味,降低TOC(總有機碳)。
軟化器(可選):通過離子交換樹脂降低鈣鎂離子濃度,防止反滲透膜結垢。
精密過濾器:5μm濾芯攔截微小顆粒,保護反滲透膜。
可選:除鐵錳過濾器(若原水含鐵錳較高)。
核心凈化階段
高壓泵加壓至1.0-1.2MPa,水通過反滲透膜(如陶氏BW30-400),脫鹽率≥99%,截留微生物、溶解性鹽類。
中間水箱:儲存RO產水,配備液位控制及氮封裝置(防止CO?污染)。
一級反滲透(RO):
二級反滲透(可選):進一步提升水質,適用于原水水質較差或高標準場景。
深度除鹽與拋光
采用陰陽樹脂混合床,進一步去除痕量離子,確保出水電阻率≥18.2MΩ·cm。
在電場作用下,淡室中的離子交換樹脂再生,持續去除RO產水中的殘留離子(電阻率提升至15-18MΩ·cm)。
電去離子(EDI):
拋光混床(可選):
后處理與滅菌
紫外線殺菌(UV):254nm波長紫外線殺滅99%以上細菌和病毒。
終端精密過濾:0.22μm或0.1μm微孔濾膜,攔截微粒及微生物尸體。
臭氧消毒(可選):對儲水箱進行周期性臭氧殺菌,防止微生物滋生。
儲存與分配系統
不銹鋼無菌水箱:316L材質,配備氮封、呼吸器,避免空氣微生物污染。
循環殺菌系統:通過巴氏消毒或紫外線循環,保持儲水水質穩定。
二、設備特點
超高水質
出水電阻率≥18.2MΩ·cm,滿足半導體、電子級超純水標準(如SEMI C18、ASTM D5127)。
可選配TOC去除裝置(如活性炭+UV聯合工藝),控制總有機碳≤5ppb。
高效節能
反滲透+EDI組合工藝,減少化學再生消耗(如酸堿用量降低90%)。
回收率可達75%-90%(根據原水水質調整),節約水資源。
自動化控制
PLC+觸摸屏集成控制,實時監測電導率、pH、TOC、溫度、壓力等參數,故障自動報警。
支持遠程監控與數據記錄,便于維護和合規管理。
靈活配置
預處理步驟可根據原水水質定制(如增加除硼過濾器、紫外線氧化等)。
可選配二級反滲透、拋光混床、氮封水箱等模塊,滿足不同行業標準。
三、技術參數示例
項目 | 參數 |
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產水量 | 2m3/h |
進水要求 | 濁度≤3NTU,SDI≤2,余氯≤0.05mg/L |
出水標準 | 電阻率≥18.2MΩ·cm,TOC≤5ppb |
回收率 | RO段≥75%,EDI段≥90% |
電源 | 380V/50Hz |
占地面積 | 約8-12m2(含預處理、主機、水箱) |
四、應用場景
半導體/芯片制造:晶圓清洗、蝕刻工藝用水。
光伏/液晶顯示:硅片清洗、液晶灌注用水。
電子化學品生產:高純試劑配制、實驗室分析。
電鍍/表面處理:鍍液配制、產品清洗。
總結
湖北專業定制2噸工業超純水設備廠家通過“預處理+反滲透+EDI+拋光混床+滅菌”組合工藝,實現高效、穩定的超純水制備,滿足工業領域對水質的要求。實際設計需根據原水水質、行業標準及預算優化配置。