FT1030 深能級(jí)瞬態(tài)譜儀DLTS
- 公司名稱 上海麥科威半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) FT1030
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/4/26 18:16:29
- 訪問(wèn)次數(shù) 98
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詳細(xì)介紹
高能分辨率深能級(jí)瞬態(tài)譜(DLTS)
PhysTech在1990年推出了一臺(tái)數(shù)字DLTS,隨著電腦技術(shù)的發(fā)展,使得在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行復(fù)雜計(jì)算成為可能。在純指數(shù)發(fā)射過(guò)程模型的基礎(chǔ)上,用各種數(shù)學(xué)模型分析測(cè)量到的瞬態(tài)過(guò)程,如傅里葉轉(zhuǎn)換、拉普拉斯轉(zhuǎn)換、多指數(shù)瞬態(tài)擬合、ITS(等溫瞬態(tài)光譜)信號(hào)重疊法、溫度掃描信號(hào)重疊法(重折疊)。與其他系統(tǒng)相比,HERA-DLTS具有能量分辨率。
半導(dǎo)體的摻雜濃度、缺陷能級(jí)位、界面態(tài)(俘獲界面)是研究半導(dǎo)體性質(zhì)的重要手段。此設(shè)備根據(jù)半導(dǎo)體P-N 結(jié)、金-半接觸結(jié)構(gòu)肖特基結(jié)的瞬態(tài)電容(△C~t)技術(shù)和深能級(jí)瞬態(tài)譜(DLTS)的發(fā)射率窗技術(shù)測(cè)量出的深能級(jí)瞬態(tài)譜,是一種具有很高檢測(cè)靈敏度的實(shí)驗(yàn)方法,能檢測(cè)半導(dǎo)體中微量雜質(zhì)、缺陷的深能級(jí)及界面態(tài)。通過(guò)對(duì)樣品的溫度掃描,可以給出表征半導(dǎo)體禁帶范圍內(nèi)的雜質(zhì)、缺陷深能級(jí)及界面態(tài)隨溫度(即能量)分布的DLTS 譜。
特點(diǎn):
操作模式:
規(guī)格:
Options
Constant Capacitance
Optical Excitation
Fast Pulse Interface
±100 V Option
Multi Sample Interface
C-DLTS
CC-DLTS
I-DLTS
DD-DLTS
Zerbst-DLTS
O-DLTS
FET-Analysis
MOS-Analysis
ITS(等溫瞬態(tài)光譜儀)
缺陷分析
俘獲截面測(cè)量
I/V, I/V(T)理查森標(biāo)繪圖
C/V, C/V(T)
TSC/TSCAP
PITS(光子誘導(dǎo)瞬態(tài)譜)
DLOS(特殊系統(tǒng))
自動(dòng)接觸檢查
常規(guī)測(cè)試和加強(qiáng)軟件
自動(dòng)電容補(bǔ)償
三終端FET電流瞬態(tài)測(cè)量
大電容和濃度范圍
靈活性高、模塊化硬件
支持各種冷卻倉(cāng)和溫度控制器
傅里葉轉(zhuǎn)換(F-DLTS),比例窗口和用戶自定義校正功能
DLTFS(深層瞬態(tài)傅里葉光譜儀)評(píng)價(jià)
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