Kashiyama樫山工業干式真空泵
Kashiyama樫山工業干式真空泵
關于應用領域，結果6提到應用于化工、電子/電池、半導體制造等領域，這說明該泵適用于高精度和高要求的工業環境。同時，結果6還提到樫山工業在半導體制造中的可靠性

• 技術沉淀?：公司在真空技術領域擁有深厚積累，其干式真空泵系列已成為半導體制造工藝的標準設備之一7。

二、核心技術

1. ?無油干式設計?

• 采用無潤滑油機械結構，避免介質污染，適用于超潔凈工藝環境（如半導體晶圓制造）
  

• 支持氮氣吹掃功能（0～80 SLM流量調節），增強工藝靈活性
  

2. ?高效節能技術?

• 通過新型加熱器系統與機械結構優化，實現低功耗化（例如 SDX600 功率僅 1.5 kW）
  

• 小型化機身設計（如 SDX600 尺寸 695×285×820 mm），節省安裝空間
  

3. ?高可靠性保障?

• 符合工業安全標準，配備高安全性防護設計，適應工況下的穩定運行
  

三、核心產品系列

• ?SD 系列真空泵?：包含 SDX600、SDT600、SDX1200 等多型號，覆蓋抽氣速率 10,000 L/min 至 100,000 L/min，滿足不同規模需求
  

• ?產品兼容性?：支持與同系列設備協同工作，擴展應用場景（如搭配 SDT600 或 SDX1200 使用）
  

四、應用領域

• ?半導體制造?：用于晶圓加工、蝕刻等關鍵工藝的真空環境控制
  

• ?電子/電池行業?：支持鋰電池生產、精密元件封裝等潔凈場景
  

• ?實驗室與化工?：適用于高純度實驗環境及腐蝕性氣體處理

• 技術參數?

• ?最大排氣速度?：10,000 l/min

• ?極限壓力?：0.5 Pa

• ?功率?：1.5 kW

• ?冷卻水需求?：3.0 l/min

• ?外形尺寸?：695×285×820 mm

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