KOFLOC科賦樂 流量控制器

KOFLOC科賦樂 流量控制器

流量控制器是為了在微小氣流中，精確控制微流量或保持恒定流量而設(shè)計的定差壓調(diào)整閥。

控制閥保證即使二次側(cè)（出口側(cè)）的負載壓力在供應(yīng)壓力一定的條件下波動，也能保持流量恒定，內(nèi)置精密針閥可以精確控制流量設(shè)定。

穩(wěn)定的流量控制特性

通過由高精度零件組成的非旋轉(zhuǎn)針閥平穩(wěn)調(diào)節(jié)微流量。

不受負載壓力損失的影響

由于即使出口側(cè)（二次側(cè)）的壓力損失發(fā)生變化，流量也不會受到影響，因此該閥門對于流量控制的第一階段至關(guān)重要。

清潔性

它的組裝與要求清潔度的分析儀器亦可兼容。

用途

用于分析儀（氣相色譜儀等）

用于環(huán)境測量設(shè)備

適用于各種氣體混合裝置

技術(shù)優(yōu)勢

熱式技術(shù)（氣體）：

基于熱擴散原理，直接測量氣體質(zhì)量流量（無需溫壓補償）。

低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導(dǎo)體工藝氣體控制）。

壓差式技術(shù)（液體）：

通過層流元件產(chǎn)生壓差，線性輸出流量信號。

耐腐蝕設(shè)計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質(zhì)。

智能功能：

數(shù)字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。

典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體制造

案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量穩(wěn)定性±0.5%，響應(yīng)時間＜1秒。

配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。

光伏產(chǎn)業(yè)

案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。

挑戰(zhàn)：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風(fēng)險。

方案：全焊接不銹鋼結(jié)構(gòu) + 泄漏自動切斷功能。

化工流程

案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。

材質(zhì)選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封