KOFLOC科賦樂 壓力調節閥

KOFLOC科賦樂 壓力調節閥

具有低壓側高精度控制的特性
將壓力設為0.01?0.15MPa，在此條件下對于一次側壓力變化、二次側負荷電阻變化，具有重現性在±1％以內的高控制性能。
不使用潤滑油
接觸氣體部分由不銹鋼、氟橡膠、氟樹脂制成，不使用任何潤滑油，*適合需要保持純凈狀態的半導體領域等。
 防松螺母結構
通過防松螺母固定設定過一次的壓力調節位置，可防止設定發生變化。
 不滲液型
本產品屬于不滲液型，不會發生氣體外泄，請您放心使用。

用途
用于氣相色譜儀
用于高純度氣體控制
用于低壓控制設備
用于半導體領域等

技術優勢

熱式技術（氣體）：

基于熱擴散原理，直接測量氣體質量流量（無需溫壓補償）。

低流量靈敏度：可檢測0.1 sccm（如半導體工藝氣體控制）。

壓差式技術（液體）：

通過層流元件產生壓差，線性輸出流量信號。

耐腐蝕設計：接液部分可選316L不銹鋼、哈氏合金或PEEK材質。

智能功能：

數字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。

自診斷報警（流量超限、傳感器異常）。

典型應用場景

半導體制造

案例：晶圓刻蝕工藝中Cl?氣體流量控制（RK-1200系列）。

要求：流量穩定性±0.5%，響應時間＜1秒。

配置：鈦合金流道（耐Cl?腐蝕）+ 防爆認證（Ex d IIC T6）。

光伏產業

案例：硅烷（SiH?）氣體輸送（MFC-3000系列）。

挑戰：硅烷易燃易爆，需杜絕泄漏風險。

方案：全焊接不銹鋼結構 + 泄漏自動切斷功能。

化工流程

案例：腐蝕性液體（如鹽酸）定量添加（RK-2400系列）。

材質選擇：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。