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前言

高純石英砂是指 SiO 2 含量高于 99.9%（又稱 3N 以上）、雜質元素含量極低的石英粉體。它們一般由高品位的天然石英礦物經過提純技術生產，是石英玻璃和石英坩堝的主要原料；并且被廣泛用于光伏、半導體等行業，是高端制造行業重要的原輔材料。近年，隨著光伏和半導體領域的快速發展，整個市場對高純石英需求的快速增長（尤其是純度等級在 4N5–4N8 (SiO 2 = 99.995%–99.998%) 以上的高端產品），國內很多企業的石英砂項目規劃相繼提上日程。不同等級的石英砂除了對總雜質含量要求不同外，不同應用對雜質元素，如堿金屬（Li、Na 和 K）含量、過渡金屬含量等也會有具體要求。微量堿金屬對石英制品的熱穩定性具有較大的影響；過渡金屬含量會阻止硅熔體導電性；石英坩堝等則

受 B 元素影響較大，要求材料中具有比較低的硼含量；Al 元素以晶格雜質形式存在，含量雖低但去除難度大，是制約高純石英砂最終質量的關鍵之一，且 Li、K、Na 等雜質含量會隨 Al 雜質含量的增加而增加。因此，石英砂及其制品中雜質元素含量的準確定量，是石英砂質量控制及產品品質認定中至關重要的環節。目前，行業內普遍采用電感耦合等離子體發射光譜儀和電感耦合等離子質譜儀來檢測不同等級的石英砂、原料以及石英制品中雜質元素的含量[1,2]。

石英砂樣品中含有大量 Si 基體，且高純石英砂樣品中雜質元素含量極低，消解方式如不合適會對部分雜質元素檢測造成一定程度的影響。本文提供了一種使用 Agilent 5800 ICP-OES 測定高純石英砂雜質元素的全流程方法。該方法具有靈敏度高、穩定性好等特點，可滿足準確定量分析高含量及低含量雜質元素的要求。

• Agilent5800ICP-OES

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