數字式四探針測試儀/數字式四探針測試儀/四探針電阻率測試儀 型號：MHY-20147
概述
MHY-20147型數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量裝置，它可以測量片狀、塊狀半導體材料的電阻率，擴散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）。換上四端子測試夾具，還可對電阻器體電阻、金屬導體的低、中值電阻以及開關類接觸電阻行測量。
本測試儀贈設測試結果分類能，zui大分類10類
儀器所有參數設定、能轉換采用數字化鍵盤輸入；具有零位、滿度自校能；自動轉換量程；測試探頭采用寶石導向軸套和耐磨碳化鎢探針制成，故定位準確、游移率小、壽命長；測試結果由數字表頭直接顯示。
基本參數
1. 測量范圍、分辨率
電 阻： 1.0×10-3 ～ 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω
電 阻 率： 10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-3 ～ 0.1×103 Ω-cm
方塊電阻： 10.0×10-3 ～ 20.0×103 Ω/□ 分辨率1.0×10-3 ～ 0.1×103 Ω/□
2. 可測半導體材料尺寸
直 徑： 測試臺直接測試方式 Φ15～130mm，其他方式不限.
長（或）度： 測試臺直接測試方式 H≤160mm, 其他方式不限.
3. 量程劃分及誤差等
量程 200.0 20.00 2.000 200.0 20.00 2.000 200.0
kΩ-cm/□ Ω-cm/□ mΩ-cm/□
誤差 ±0.5%FSB±1LSB（在各量程范圍內），量程或欠量程可測量，但誤差將隨欠程度而變大
4) 作電源：220V±10％, f=50Hz±4％,PW≤5W
5) 外形尺寸：W×H×L=20cm×7.5cm×18cm
凈 重：≤1kg
