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氣路泄露排查從氣源泄露和內(nèi)部泄露下手
氣源泄漏檢查:
1.先切斷主機(jī)、溫度流量控制器的電源。打開(kāi)氣瓶上的主閥并將氣源分壓調(diào)節(jié)到0.4MPa。
2.將各氣源的兩級(jí)壓力調(diào)節(jié)器的分壓控制手柄返回原位,監(jiān)測(cè)分壓表,10分鐘之內(nèi)壓力應(yīng)沒(méi)有明顯下降。如果有泄漏,應(yīng)仔細(xì)檢查各氣路管線的接頭,并找出泄漏的位置。泄漏的接頭只要上緊到足以阻止泄漏即可。過(guò)緊會(huì)損壞套圈和接頭。
注意:檢測(cè)氣路是否泄漏時(shí),應(yīng)注意不要弄潮濕任何電氣或電子部件,否則會(huì)嚴(yán)重?fù)p壞部件。
內(nèi)部泄漏檢查:
系統(tǒng)內(nèi)部氣體連接管線在儀器發(fā)貨前都作過(guò)仔細(xì)的檢查和泄漏試驗(yàn)。如果系統(tǒng)未作任何升級(jí)改動(dòng)或維修,一般不需檢查泄漏。用戶在安裝氣路系統(tǒng)的有關(guān)部件(如石英裂解管)時(shí),必須嚴(yán)格按照本手冊(cè)中有關(guān)章節(jié)規(guī)定的操作步驟進(jìn)行。只要正確安裝這些部件,一般不必檢查泄漏。
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