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6當(dāng)前位置：岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司>>成功案例
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該客戶系湖北武漢的上市公司，是一家從事半導(dǎo)體工藝制程材料、半導(dǎo)體先進(jìn)封裝材料、半導(dǎo)體顯示材料生產(chǎn)和研發(fā)的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)。公司在湖北省、長(zhǎng)三角、珠三角廣泛布局，總資產(chǎn)超50億元。
Thetametrisis膜厚測(cè)量?jī)x主要應(yīng)用于客戶自研自產(chǎn)的光刻膠涂層材料。
ThetaMetrisis的核心技術(shù)是白光反射光譜（WLRS），它可以在從幾埃到毫米的超寬范圍內(nèi)準(zhǔn)確測(cè)量堆疊薄膜和厚膜的厚度和折射率。
FR-Scanner為半自動(dòng)測(cè)量設(shè)備，通過移動(dòng)晶圓片進(jìn)行整片掃描記錄測(cè)量數(shù)據(jù)，具有高重復(fù)性、精確的反射率測(cè)量表現(xiàn)能力。薄膜從幾nm到幾百μm均可測(cè)量。FR-Scanner在準(zhǔn)確性、精度、再現(xiàn)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性方面提供了出色的性能。
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