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技術文章
中國國家電子級超純水標準
點擊次數：1630 發布時間：2012-7-4
中國國家電子級超純水規格 GB/T11446.1-1997
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| 電阻率 | Si | Cu | Zn | Ni | Na | K | Cl | >1μm 顆粒 | 細菌 | Agno3 | -PO4 ≤μg/L | SO4、≤μg/L | TOC |
| EW-I | ≥18* | 2 | 0.2 | 0.2 | 0.1 | 0.5 | 0.5 | 1 | 0.1 | 0.01 | 1 | 1 | 1 | 20 |
| EW - II | ≥15 ** | 10 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 1 | 5 | 0.1 | 1 | 1 | 1 | 100 |