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技術文章

日本ULVAC CFB-1200K抗沖擊分子泵技術參數

點擊次數:1186 發布時間:2015-12-29

日本ULVAC CFB-1200K抗沖擊分子泵 一、產品簡介

        CFB-K系列抗沖擊分子泵轉子采用國家新型加工而成,提高了葉齒強度,分子泵高速旋轉時可以抵抗瞬時5000Pa的大氣沖擊和粉塵,廣泛應用于光伏、照明、宇航、半導體、能源、軍工、激光、家電、新材料、汽車等真空技術的各個領域。

 

日本ULVAC CFB-1200K抗沖擊分子泵 二、產品特點

        具有高壓強、抽速大的特點,對被抽氣體無選擇性、無記憶效應,由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得高真空和超高真空。

 

日本ULVAC CFB-1200K抗沖擊分子泵 三、主要性能指標

 

型號

CFB-1200K

訂貨號

3181

3182

進氣口法蘭

LF200

CF200

排氣口法蘭

KF40

抽氣速率

L/s

1200

壓縮比N2/H2

1×109/1×104

極限壓強

Pa

5×10-7

8×10-8   

電機轉速

rpm

24000

啟動時間

min

<5

軸承

陶瓷軸承

前極泵

L/s

8-15

振動值

μm

≤0.1

冷卻水溫度

≤25

泵體烘烤溫度

<120

冷卻水流量

L/min

1

泵口耐壓

Pa

7000

加熱器輸入電壓

V

AC220

安裝方向

垂直±5°

重量

kg

~31

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