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技術文章
日本ULVAC CFB-600F風冷復合分子泵技術參數
點擊次數：1181 發布時間：2015-12-29
日本ULVAC CFB-600F風冷復合分子泵 一、產品簡介
CFB-F系列風冷復合分子泵的性能與復合分子泵一樣，適用于沒有水源且環境溫度不高的地方，或經常移動的排氣機組等。
日本ULVAC CFB-600F風冷復合分子泵 二、產品特點
復合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應；由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。
日本ULVAC CFB-600F風冷復合分子泵 三、主要性能指標
型號 | CFB-600F | ||
訂貨號 | 3163 | 3164 | |
進氣口法蘭 | — | LF200 | CF200 |
排氣口法蘭 | — | KF40 | |
抽氣速率 | L/s | 600 | |
壓縮比N2/H2 | — | 1×109/1×104 | |
極限壓強 | Pa | 5×10-7 | 8×10-8 |
電機轉速 | rpm | 24000 | |
啟動時間 | min | ＜5 | |
振動值 | μm | ≤0.1 | |
前極泵 | L/s | 4-8 | |
冷卻方式 | — | 風冷（環境溫度<37℃） | |
泵體烘烤溫度 | ℃ | <120 | |
加熱器功率 | W | <550 | |
加熱器輸入電壓 | V | AC220 | |
安裝方向 | — | 垂直±5° | |
重量 | kg | ～29 | |
四、特性曲線及安裝尺寸
CFB系列風冷復合分子泵安裝尺寸表
型號規格 | CFB-600F | |
高真空法蘭 | LF160 | CF150 |
D1 | Ф180 | Ф202 |
D2 | Ф236 | Ф236 |
D3 | □45.7 | □145.7 |
L1 | 128 | 128 |
L2 | 137 | 137 |
H1 | 467 | 467 |
H2 | 70 | 70 |
H3 | 178.5 | 178.5 |
H4 | 151 | 151 |
泵腿螺釘孔 | 4-M8 | 4-M8 |