智能型多功能橢偏儀產品特點：

1、一鍵式操作，直接報告輸出

2、液晶調制技術，測量光路中無運動部件

3、CCD探測系統，快速全譜輸出

4、多個微光斑尺寸選擇，可視技術

5、多角度測量

6、可實現在線測量配置

橢圓偏振儀技術參數：

1、光譜范圍：450-1000nm

2、多種微光斑自動選擇

3、光斑可視技術，可觀測任何樣品表面

4、CCD探測器

5、自動樣品臺尺寸：200mmX200mm；XYZ方向

6、自動調節; Z軸高度>35mm

智能型多功能橢偏儀Smart SE采用多功能性設計，配置靈活，具備多角度測量能力，可方便實現在線與離線配置切換。是一款針對單層和多層薄膜進行簡單，快速，精確表征和分析的工具。