目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>光學(xué)測(cè)量系列>>晶圓測(cè)試儀器>> FPEH-MX10高分辨率晶圓厚度測(cè)試儀
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更新時(shí)間：2024-07-31 16:18:08瀏覽次數(shù)：1025評(píng)價(jià)
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| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池 |
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高分辨率晶圓厚度測(cè)試儀能夠高精度測(cè)量硅晶圓厚度和硅晶圓厚度變化,分辨率高達(dá)10nm,可滿足不同的晶圓厚度范圍。
高分辨率晶圓厚度測(cè)試儀具有良好的自動(dòng)校準(zhǔn)功能，在掃描晶圓前，厚度測(cè)量計(jì)自動(dòng)校準(zhǔn)。
用戶可選擇多達(dá)四個(gè)厚度測(cè)量范圍
配套軟件MXNT
型號(hào)：MX102-8規(guī)格特色(測(cè)量晶圓厚度和TTV厚度）
用戶可選擇多達(dá)四個(gè)厚度測(cè)量范圍
動(dòng)態(tài)范圍100或350µm
可容納晶圓直徑6''或8"
精度0.1µm
分辨率10nm
空間分辨率1mm
4次掃描
配套軟件MXNT
型號(hào)：MX1012規(guī)格特色
(測(cè)量晶圓厚度和TTV厚度）
用戶可選擇多達(dá)四個(gè)厚度測(cè)量范圍
動(dòng)態(tài)范圍100或350µm
可容納晶圓直徑8"或12''
精度0.1µm
分辨率10nm
空間分辨率1mm
8次掃描
配套軟件MXNT
型號(hào)：MX1018規(guī)格特色
(測(cè)量晶圓厚度和TTV厚度）
用戶可選擇多達(dá)四個(gè)厚度測(cè)量范圍
動(dòng)態(tài)范圍100或350µm
可容納晶圓直徑300mm或450mm
精度0.3µm
分辨率10nm
空間分辨率1mm
8次掃描
配套軟件MXNT
高分辨率晶圓厚度測(cè)試儀規(guī)格
| 型號(hào) | 晶圓直徑[mm] |
| MX 102-6 | 100, 125, 150 |
| MX 102-8 | 150, 200 |
| MX 1012 | 200, 300 |
| MX 1018 | 300, 450 |
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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