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晶圓擴片機 UH132 Die Matrix Expanders是Ultron Systems電機驅動晶圓die擴膜擴展器,專業為晶片擴展和die晶粒展示而設計。
晶圓擴片機UH132同級芯片晶粒die繼續提供對die分離工藝參數的精確控制，但現在采用了帶有數字速度控制的新電機驅動設計，通過在整個驅動行程中產生線性和均勻膨脹，可提供更高的晶片擴展精度。
晶圓擴片機UH132系列的一個新的可編程功能允許節省預熱（停留）時間和ram速度，提供全面控制和最大精度，以獲得一致、可重復的結果。
晶圓擴片機UH132特征：
-可容納多達8英寸（200mm）的晶片/膜架（UH132型）和12英寸（300mm）的晶圓/膜架
-電機驅動柱塞，帶數字速度控制和2.8“可調沖程（柱塞高度）
-電動圓形切割機組件（UH132-12型標準；UH132型選件）
-帶熱敏電阻的數字溫控加熱臺
-可調行程限位器，實現一致的膨脹重復性
-精確控制模具分離距離，實現一致的重復性
-通過10圈千分表精確調整高度（一對一比率）
-最多9個程序可調節預熱時間（最多99秒）和ram速度（18速設置）
-安全過壓傳感器和用于柱塞止動的滑動離合器
-急停按鈕
-有機玻璃護罩，防靜電
-上下夾具總成
-下夾（外夾環）總成和上夾（內夾環）組件可以單獨鉸接，以允許使用更大的夾環（UH132-12）
-定位銷提供了簡單而精確的膜架放置
-減少校準時間并提高自動化過程的產量
-幾乎消除了運算符變量