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Hybrid Hexapod六軸平臺采用ALIO六軸定位臺Hexapod器件,采用與傳統6自由度（6-DOF）定位臺不同的方法，以競爭力的價格展示了更高的性能。
Hybrid Hexapod六軸平臺結合了精密XY單片工作臺、三腳架和連續旋轉θ-Z軸，而不是6個獨立支腿（和12個連接接頭），以提供整體性能。這使得傳統的六足運動學過時，在精度、路徑性能、速度、剛度和更大的工作范圍（幾乎不受限制的XY行程）以及可編程的刀具中心點位置方面有了幾個數量級的改進。
Hybrid Hexapod六軸平臺具有小于100 nm的三維6軸點精度®可重復性，使其成為激光加工、光學檢測、光子學、半導體、計量學和醫療設備領域以及所有微加工項目中關鍵任務應用的關鍵技術。
傳統的六足機器人無法達到亞微米精度，因為它們需要精確協調所有六個軸的運動，以完成運動輪廓，即使這一要求僅適用于簡單的單軸運動。此外，盡管人們普遍認為，與串聯堆疊的多軸系統相比，Hexapod六軸平臺表現出良好的剛度，但這實際上僅限于垂直“z"軸，而在“xy"平面上則存在弱點。
Hybrid Hexapod六軸平臺Angulares
Angulares Hybrid Hexapod®的60度傾斜/傾斜行程是目前市場上任何6自由度（6-DOF）定位器所能提供的最大角度行程范圍，并提供與ALIO的所有Hybrid Hexapod系統相同的定位性能。它非常適合于非球面和自由曲面光學計量、硅光電子封裝和探測、激光微處理（非平面基板和錐度控制）、晶圓計量、相機模塊對準和組裝、傳感器/圖像穩定測試、光學元件和光纖對準等應用。
Hybrid Hexapod六軸平臺Angulares具有精密交叉滾柱軸承導軌、所有軸上的光學增量或絕對編碼器反饋、直線電機和/或伺服滾珠絲杠驅動器、無限可編程刀具中心點位置和坐標偏移，以及所有軸上的零齒隙。該設計使角度最大的M能夠無限的XY行程，Z行程為62毫米，使用其他三腳架模型可以增加到208毫米，傾斜/傾斜行程為60度（+/-30度），連續360度θ-Z，XYZ雙向重復性小于+/-0.6弧秒，速度高達100毫米/秒XY和Z，小于10納米的線性和0.1弧秒的角度最小增量運動。