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超平硅片（基底材料）

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海德創業（北京）生物科技有限公司
2018-03-19 13:24:47
北京市
美國
2160

具體成交價以合同協議為準

【簡單介紹】

供貨周期	一個月	規格	1片
貨號	71893	主要用途	AFM、SEM用硅片

超平硅片（基底材料），常作為AFM基地片用在科學研究中。超平，直徑有100mm、150mm、200mm三種規格可選。

【詳細說明】

超平硅片（基底材料）

超平硅片（基底材料），常作為AFM基地片用在科學研究中。超平，直徑有100mm、150mm、200mm三種規格可選。

的一些參數如下：

	4"	6"	8"
直徑	100 mm	150 mm	200 mm
向性	<100>	<100>	<100>
級別	P/Boron	P/Boron	P/Boron
Growth Method:	CZ	CZ	CZ
電阻率	10-20 Ohm-cm	10-20 Ohm-cm	10-20 Ohm-cm
厚度	525µm ±20µm	675µm ±20µm	725µm ±20µm
TTV:	<4.00µm	<4.00µm	<4.00µm
SFPD:	<2.0µm	<2.0µm	<2.0µm
Warp:	≤30µm	≤30µm	≤30µm
Bow:	≤30µm	≤30µm	≤30µm
微粒數	≤20@≥0.3µm	≤20@≥0.3µm	≤20@≥0.3µm
正面Front Surface	Polished	Polished	Polished
背面Back Surface	Etched	Etched	Etched
平整度Flat:	2 per SEMI Standard	1 per SEMI Standard	2 per SEMI Standard
Site Flatness:	<2.0µm	<2.0µm	<2.0µm
粗糙Roughness	Typically 2-3Å	Typically 2-3Å	Typically 2-3Å

銷售信息：

貨號	產品名稱	規格
71893-01	Ultra-Flat Silicon Wafer, 4"	1片
71893-02	Ultra-Flat Silicon Wafer, 6"	1片
71893-03	Ultra-Flat Silicon Wafer, 8"	1片


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