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技術(shù)文章

超低溫恒溫槽操作說明書

閱讀:3557          發(fā)布時間:2017-9-7
    超低溫恒溫槽操作自帶制冷和加熱的高精度恒溫源,兼具小型冷水機的功能,可以被廣泛地應用于石油、化工、冶金、醫(yī)藥、生化、物性,測試及化學分析等研究部門、高等院校、工廠實驗室及計量質(zhì)檢部門。

超低溫恒溫槽應用范圍:

1.對半導體制造裝置發(fā)熱部的冷卻:單晶片洗凈轉(zhuǎn)載、印刷機、自動夾座安裝裝置、噴涂裝置、離子鍍裝置、蝕刻裝置、單晶片處理裝置、切片機、包裝機、顯影劑的溫度管理、露光裝置、生磁部分的加熱裝置等。

2.對激光裝置發(fā)熱部分的冷卻:激光加工、熔接機的發(fā)熱部分、激光標志裝置、發(fā)生裝置、二氧化碳激光加工機等。

超低溫恒溫槽操作規(guī)范:

1.槽內(nèi)加入液態(tài)介質(zhì),使介質(zhì)液面低于工作臺板30mm。應遵循以下原則:

  a.當工作溫度低于5℃時,液體介質(zhì)一般選用無水乙醇或乙二醇;

  b.當工作溫度在585℃時,液體介質(zhì)一般選用水;  

  c.當工作溫度低于8595℃時,液體介質(zhì)可選用15%甘油水溶液。

2.連通電源,開啟“電源”開關(guān),開啟“循環(huán)”開關(guān)。

3.SET鍵設(shè)定溫度,上排數(shù)碼管(PV)正常測溫,下排數(shù)碼管(SV)數(shù)據(jù)閃動,表示儀表進入溫度設(shè)定狀態(tài)。按△鍵設(shè)定值增大,按▽鍵設(shè)定值減小,溫度設(shè)定范圍在-5100℃,持續(xù)按△鍵或▽鍵設(shè)定值會快速變化;zui后按一下SET鍵確認設(shè)定溫度,儀器開始工作。當上述操作完成后,儀器進入溫度自動控制狀態(tài),測量溫度(PV)顯示槽內(nèi)實際溫度。

4.關(guān)閉“電源”開關(guān),分開空氣開關(guān),電源切斷。 

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