產品名稱：全自動晶圓成像電阻率測試儀

一、產品概述

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

二、儀器構成：

1、 高精度電阻率測試儀

3、 測試探頭

高精度電阻率測量儀：

1.1電阻率：0.00001～20000Ω.cm (可擴展)

1.3電阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2電流誤差：±0.5%

三坐標測試移動品臺：

2、X軸Y軸*小位移量：0.125MM

四探針測試電極：

上位機軟件測量成像系統

2、 測量點數：可以設定

4、 2D成像：測試完成后，可以立體成像

——按照IEC60405的要求進行降雨和噴鹽霧。——將絕緣子放置距5000W盜弧燈約48cm以內就可達到模擬太陽輻射。注：為了引用方便，各條款號與本標準正文相同。相同設計、材料和工藝情況下，只進行一次。依次在至少800mm長的3只試品上進行。-陡波前沖擊電壓：兩個電極間的距離為500mm；

無擊穿，依次在至少800mm長的6只試品上進行。沒有破壞、沒有*抽出。2只試品，爬電距離在484mm至693mm之間。電壓：1kV每34.6mm的爬電距離，不超過3次過流中斷，沒有起痕，沒有擊穿，沒有蝕損至芯棒。注：對在惡劣的環境條件下使用的絕緣子，由用戶和制造廠協議可采用兩種供選擇的試驗程序。10只試品，6只試品，無擊穿，無閃絡，5只試樣，依次在絕緣距離不小于800mm的4只試品上進行。注：本項試驗進行與否，以及試驗電壓和接受的干水平，由相關產品標準或供需雙方協議規定。無破壞，無裂紋或裂紋未達到芯棒。陡波前沖擊電壓,兩電極間相隔500mm,正負極性各25次外部閃絡。在下表D.1中綜合給出所有試驗及其次序和試品數量。

表E.1給出了本標準與IEC1992技術性差異及其原因的一覽表。5.1.4.2陡度由“不小于1000kV/橢”修改為'陡度不小于1000kV/Ms但上限不超過5。陡度應該有范圍，以便調整波形；對于整只正常生產的產品的爬電比距大于20mm/kV時，試驗電壓應經供需雙方協議確定

半導體硅片電阻率成像測定儀

半導體硅片電阻率成像測定儀