全自動晶圓成像電阻率測試儀

產品名稱：全自動晶圓成像電阻率測試儀

產品型號：GEST-201

一、產品概述

本儀器主要通過四探針法測試單晶硅電阻率，具有自動定位的三坐標自動測量系統，可以自由設置測量點數量，自動測試完成，可以對測試出的數據進行2D成像，是智能化、集成化很高的晶圓電阻率測試儀器。

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數快、精度高、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等特點。

本儀器適用于半導體材料廠、半導體器件廠、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試

二、儀器構成：

本儀器主要組成部分有：

1、 高精度電阻率測試儀

2、 三坐標測試移動平臺

3、 測試探頭

4、 上位機軟件測量成像系統

高精度電阻率測量儀：

1、測量范圍

1.1電阻率：0.00001～20000Ω.cm (可擴展)

1.2電導率：0.00005～10000 s/cm；

1.3電阻：0.00001～20000Ω.cm；

2、電壓測量：

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.2分辨力：10μV；

2.3 精度：±0.1% ；

2.4顯示：觸摸屏操作顯示

3、恒流源：

3.1電流輸出：10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,

3.2電流誤差：±0.5%

3.3各檔連續可調

三坐標測試移動品臺：

1、X軸Y軸移動行程：120MM

2、X軸Y軸*小位移量：0.125MM

3、R軸*小分度值：0.0125°C

四探針測試電極：

1、間距：1±0.01mm；
2、針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 
3、機械游移率：≤0.3％；
4、探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
5、 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

上位機軟件測量成像系統

1、 測量方式：弧度測量、角度測量

2、 測量點數：可以設定

3、 測試數據：實時同步顯示

4、 2D成像：測試完成后，可以立體成像

5、 數據導出：可以保存測試數據生成電子版本

將會得出與運行經驗的相對應的判據。在流動的冷水下，用有金剛石層的圓鋸片從正常生產的絕緣子上沿與芯棒軸線成90°的方向切割下10只試品，試品長度應為10mm±0.5mm。切面應用細砂布打光（砂粒大小為180目），兩端的切面應是清潔和平行的。試品應（纖維垂直）地放入玻璃容器內，置于一層直徑相同（1mm?2mm）的鋼球或玻璃球上，將1%的品紅乙醇溶液（1g的品紅放入100g的乙醇中）染料倒入容器中，使其液面應比球層的上平面高2mm?3mm,染料可因毛細作用而從芯棒內上升，測量染料上升貫通試品的時間。染料上升貫通試品所用的時間應長于15min。在流動的冷水下，用有金剛石層的圓鋸片從正常生產的絕緣子上沿與芯棒軸線成90°的方向切割下6只試品。

試品長度應為30mm土0.5mm。切面應用細砂布打光（砂粒大小為180目），兩端的切面應是清潔和平行的。試品的表面在煮沸前應先用異丙醇清洗并用濾紙擦凈,將試品放入含0.1%重量NaCl的去離子水的玻璃容器內煮沸，在同一容器中，只能放入所切割的同一種芯棒材料試品在一起煮沸。沸騰容器示例見圖2。在沸騰時間到了以后，將試品從玻璃容器中取出，在周圍溫度下置于裝滿自來水的另一玻璃容器中，持續至少15min。在試品自沸騰容器中取出后3h內進行按5.4.2.3的電壓試驗。電壓試驗應在圖3和圖4所示的裝置中進行。注：對較大直徑的試品，電極的直徑也應加大，電極直徑至少應比試品直徑大20mm。T1——調壓器；T2—變壓器；

四探針法晶圓電阻率測試儀

四探針法晶圓電阻率測試儀