單晶體的最大特點是各向異性,這也意味著無論在制備、使用還是研究單晶體時,都必須知道其取向。例如,在Si半導體集成器件和大規模集成電路的制備中,就需表面為{1 1 1}或{1 0 0}面的基片。此外,在晶體缺陷和相變的研究中,也需要考慮單晶體的位向問題。
X射線衍射方法的出現,在無損、準確地解決單晶定向難題的基礎上,還能提供晶體內部微觀完整性的信息。日本Pulstec公司基于特殊的圓形全二維面探測器技術研發推出了新一代X射線單晶定向系統s-Laue。該設備配備六軸樣品臺,具有功率小(30 KV/1.5 mA)、操作簡單、測試效率高(典型測試時間為60秒)等特點。同時,s-Laue提供臺式、便攜式兩種類型設備,即能滿足實驗室小樣品單晶定向需求,還可用于大型零件的現場晶體定向應用。
新一代X射線單晶定向系統s-Laue
部分用戶單位:
由于上述突出的特點和明顯的優勢,s-Laue自推出以來受到科研工作者的廣泛關注,目前已有國內外多個客戶選擇其用于其單晶體的科研工作。
部分測試數據展示:
單晶硅測試結果 Al2O3測試結果
樣機體驗:
為了便于廣大客戶全面了解和親身體驗新一代X射線單晶定向系統s-Laue,Quantum Design中國公司引進了s-Laue樣機,目前該設備已安裝于我公司實驗室并調試完畢。即日起,我們歡迎對該設備感興趣的老師和同學來訪,我們在Quantum Design中國樣機實驗室恭候大家的到來。
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